Semikonduktor VeTek minangka produsen utama bahan Tantalum Carbide Coating kanggo industri semikonduktor. Penawaran produk utama kalebu bagean lapisan karbida tantalum CVD, bagean lapisan TaC sing disinter kanggo pertumbuhan kristal SiC utawa proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor nduweni kontrol kualitas sing apik. VeTek Semiconductor darmabakti kanggo dadi inovator ing industri Tantalum Carbide Coating liwat riset lan pangembangan teknologi iteratif.
Produk utama yaikuTantalum Carbide coating defector ring, TaC coated diversion ring, TaC coated halfmoon parts, Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk (Aixtron G10), TaC Coated Crucible; TaC Coated Rings; TaC Coated Porous Graphite; Tantalum Carbide Coating Graphite Susceptor; TaC Coated Guide Ring; TaC Tantalum Carbide Coated Plate; TaC Coated Wafer Susceptor; TaC Coating Ring; TaC Coating Graphite Cover; TaC Coated Chunketc., kemurnian ngisor 5ppm, bisa ketemu syarat customer.
Grafit lapisan TaC digawe kanthi nutupi permukaan substrat grafit kanthi kemurnian dhuwur kanthi lapisan tantalum karbida kanthi proses Deposisi Uap Kimia (CVD) proprietary. Kauntungan ditampilake ing gambar ing ngisor iki:
Lapisan tantalum carbide (TaC) wis entuk perhatian amarga titik leleh sing dhuwur nganti 3880 ° C, kekuatan mekanik sing apik, kekerasan, lan tahan kanggo kejut termal, dadi alternatif sing apik kanggo proses epitaksi semikonduktor senyawa kanthi syarat suhu sing luwih dhuwur, kayata sistem Aixtron MOCVD lan proses epitaksi LPE SiC. Uga nduweni aplikasi sing akeh ing proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.
●Stabilitas suhu
●kemurnian Ultra dhuwur
●Resistance kanggo H2, NH3, SiH4, Si
●Resistance kanggo stock termal
●Adhesion kuwat kanggo grafit
●Jangkoan lapisan conformal
● Ukuran nganti diameter 750 mm (Produsen mung ing China tekan ukuran iki)
● Susceptor pemanasan induktif
● unsur panas resistif
● tameng panas
Sifat fisik lapisan TaC | |
Kapadhetan | 14,3 (g/cm³) |
Emisivitas spesifik | 0.3 |
Koefisien ekspansi termal | 6.3 10-6/K |
Kekerasan (HK) | 2000 HK |
Resistance | 1×10-5Om *cm |
Stabilitas termal | <2500 ℃ |
owah-owahan ukuran grafit | -10~-20um |
Ketebalan lapisan | Nilai khas ≥20um (35um±10um) |
unsur | Atom persen | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Rata-rata | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Minangka inovator profesional lan pimpinan produk Tantalum Carbide Coated Ring ing China, VeTek semikonduktor Tantalum Carbide Coated Ring duwe peran sing ora bisa diganti ing pertumbuhan kristal SiC kanthi resistensi suhu dhuwur, resistensi nyandhang lan konduktivitas termal sing apik banget. Sugeng rawuh konsultasi luwih lanjut.
Waca liyaneKirim PitakonanVeTek Semiconductor minangka produsen profesional lan pimpinan produk Porous Tantalum Carbide ing China. Karbida Tantalum keropos biasane diprodhuksi kanthi metode deposisi uap kimia (CVD), njamin kontrol ukuran lan distribusi pori sing tepat, lan minangka alat material khusus kanggo lingkungan ekstrem suhu dhuwur. Sugeng rawuh konsultasi luwih lanjut.
Waca liyaneKirim PitakonanMinangka produsen majeng lan produser produk Tantalum Carbide Ring ing China, VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Ring nduweni atose dhuwur banget, resistance nyandhang, resistance suhu dhuwur lan stabilitas kimia, lan digunakake digunakake ing lapangan manufaktur semikonduktor. Utamane ing CVD, PVD, proses implantasi ion, proses etsa, lan pangolahan lan transportasi wafer, iku minangka produk sing ora bisa dipisahake kanggo pangolahan lan manufaktur semikonduktor. Looking nerusake kanggo rembugan luwih.
Waca liyaneKirim PitakonanMinangka produsen lan pabrik produk Dhukungan Tantalum Carbide Coating profesional ing China, VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support biasane digunakake kanggo lapisan permukaan komponen struktural utawa komponen dhukungan ing peralatan semikonduktor, utamane kanggo proteksi permukaan komponen peralatan utama ing proses manufaktur semikonduktor kayata CVD lan PVD. Sugeng rawuh konsultasi luwih lanjut.
Waca liyaneKirim PitakonanVeTek Semiconductor minangka produsen profesional lan pimpinan produk Tantalum Carbide Guide Ring ing China. Cincin Pandhuan Tantalum Carbide (TaC) minangka komponen cincin kinerja dhuwur sing digawe saka tantalum carbide, sing umum digunakake ing peralatan pangolahan semikonduktor, utamane ing lingkungan suhu dhuwur lan korosif kayata CVD, PVD, etsa lan difusi. VeTek Semiconductor setya nyedhiyakake teknologi canggih lan solusi produk kanggo industri semikonduktor, lan nampani pitakon luwih lanjut.
Waca liyaneKirim PitakonanMinangka produsen profesional, inovator lan pimpinan produk TaC Coating Rotation Susceptor ing China. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor biasane dipasang ing deposisi uap kimia (CVD) lan peralatan epitaxy beam molekul (MBE) kanggo ndhukung lan muter wafer kanggo njamin deposisi materi seragam lan reaksi efisien. Iki minangka komponen kunci ing pangolahan semikonduktor. Sugeng rawuh konsultasi luwih lanjut.
Waca liyaneKirim Pitakonan