Semikonduktor VeTek minangka produsen utama bahan Tantalum Carbide Coating kanggo industri semikonduktor. Penawaran produk utama kalebu bagean lapisan karbida tantalum CVD, bagean lapisan TaC sing disinter kanggo pertumbuhan kristal SiC utawa proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor nduweni kontrol kualitas sing apik. VeTek Semiconductor darmabakti kanggo dadi inovator ing industri Tantalum Carbide Coating liwat riset lan pangembangan teknologi iteratif.
Produk utama yaikuTantalum Carbide coating defector ring, TaC coated diversion ring, TaC coated halfmoon parts, Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk (Aixtron G10), TaC Coated Crucible; TaC Coated Rings; TaC Coated Porous Graphite; Tantalum Carbide Coating Graphite Susceptor; TaC Coated Guide Ring; TaC Tantalum Carbide Coated Plate; TaC Coated Wafer Susceptor; TaC Coating Ring; TaC Coating Graphite Cover; TaC Coated Chunketc., kemurnian ngisor 5ppm, bisa ketemu syarat customer.
Grafit lapisan TaC digawe kanthi nutupi permukaan substrat grafit kanthi kemurnian dhuwur kanthi lapisan tantalum karbida kanthi proses Deposisi Uap Kimia (CVD) proprietary. Kauntungan ditampilake ing gambar ing ngisor iki:
Lapisan tantalum carbide (TaC) wis entuk perhatian amarga titik leleh sing dhuwur nganti 3880 ° C, kekuatan mekanik sing apik, kekerasan, lan tahan kanggo kejut termal, dadi alternatif sing apik kanggo proses epitaksi semikonduktor senyawa kanthi syarat suhu sing luwih dhuwur, kayata sistem Aixtron MOCVD lan proses epitaksi LPE SiC. Uga nduweni aplikasi sing akeh ing proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.
Stabilitas suhu
kemurnian Ultra dhuwur
Resistance kanggo H2, NH3, SiH4, Si
Resistance kanggo stock termal
Adhesion kuwat kanggo grafit
Jangkoan lapisan conformal
Ukuran nganti diameter 750 mm (Produsen mung ing China tekan ukuran iki)
Pembawa wafer
Susceptor pemanasan induktif
Elemen pemanas resistif
disk satelit
Pancuran
Ring guide
panrima LED Epi
Nozzle injeksi
Masking ring
tameng panas
Sifat fisik lapisan TaC | |
Kapadhetan | 14,3 (g/cm³) |
Emisivitas spesifik | 0.3 |
Koefisien ekspansi termal | 6.3 10-6/K |
Kekerasan (HK) | 2000 HK |
Resistance | 1×10-5Om *cm |
Stabilitas termal | <2500 ℃ |
owah-owahan ukuran grafit | -10~-20um |
Ketebalan lapisan | ≥20um nilai khas (35um±10um) |
unsur | Atom persen | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Rata-rata | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ta M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor minangka produsen profesional lan pimpinan produk CVD TaC Coating Crucible ing China. CVD TaC Coating Crucible adhedhasar lapisan karbon tantalum (TaC). Lapisan karbon tantalum ditutupi kanthi rata ing permukaan crucible liwat proses deposisi uap kimia (CVD) kanggo nambah resistensi panas lan tahan karat. Iki minangka alat material sing digunakake khusus ing lingkungan ekstrem suhu dhuwur. Sugeng rawuh konsultasi luwih lanjut.
Waca liyaneKirim PitakonanMinangka produsen lan pabrik produk Wafer Carrier Coating CVD TaC profesional ing China, VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier minangka alat mawa wafer sing dirancang khusus kanggo suhu dhuwur lan lingkungan korosif ing manufaktur semikonduktor. Produk iki nduweni kekuatan mekanik sing dhuwur, tahan korosi sing apik lan stabilitas termal, nyedhiyakake jaminan sing dibutuhake kanggo nggawe piranti semikonduktor berkualitas tinggi. pitakonan Panjenengan luwih olèh.
Waca liyaneKirim PitakonanVeTek Semiconductor minangka produsen lan inovator TaC Coating Heater ing China. Prodhuk iki nduweni titik leleh sing dhuwur banget (udakara 3880°C). Titik lebur dhuwur saka TaC Coating Heater mbisakake kanggo operate ing suhu dhuwur banget, utamané ing wutah saka gallium nitride (GaN) lapisan epitaxial ing logam organik chemical vapor deposition (MOCVD) proses. VeTek Semiconductor setya nyedhiyakake teknologi canggih lan solusi produk kanggo industri semikonduktor. We look nerusake kanggo dadi partner long-term ing China.
Waca liyaneKirim PitakonanMinangka produsen lan supplier TaC Coated Chuck profesional ing China, VeTek Semiconductor's TaC Coating Chuck dirancang khusus kanggo tungku semikonduktor. Kanthi tahan suhu sing dhuwur, inertness kimia lan kinerja sing apik, teknologi inovatif Vetek Semiconductor nyedhiyakake solusi sing bisa dipercaya kanggo industri manufaktur semikonduktor kanggo njamin standar produksi sing berkualitas tinggi. Kita yakin produk kita bisa nggawa sampeyan teknologi canggih lan solusi produk sing berkualitas.
Waca liyaneKirim PitakonanMinangka produsen lan supplier TaC Coating Tube profesional ing China, tabung lapisan TaC VeTek Semiconductor minangka komponen kunci kanggo sukses tuwuh kristal tunggal silikon karbida. Kanthi resistance suhu dhuwur, inertness kimia lan kinerja banget, iku njamin produksi kristal kualitas dhuwur karo asil konsisten. Dipercaya solusi inovatif kita kanggo ningkatake proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT lan entuk asil sing apik. Sugeng rawuh ing pitakonan kita.
Waca liyaneKirim PitakonanVeTek Semiconductor minangka produsen, inovator lan pimpinan CVD TAC Coating ing China. Wis pirang-pirang taun, kita wis fokus ing macem-macem produk Coating CVD TAC kayata tutup lapisan CVD TaC, Cincin Coating CVD TaC, operator Coating CVD TaC, lan sapiturute. konsultasi.
Waca liyaneKirim Pitakonan