Chuck Elektrostatik Keramik

Chuck Electrostatic Keramik digunakake ing manufaktur semikonduktor lan pangolahan kanggo ndandani wafer. Iku alat indispensable kanggo Processing wafer tliti dhuwur. VeTek Semiconductor minangka produsen berpengalaman lan pemasok Chuck Elektrostatik Keramik, lan bisa nyedhiyakake produk sing disesuaikan banget miturut kabutuhan pelanggan sing beda.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Proses produksi semikonduktor, utamane pangolahan wafer, ditindakake ing lingkungan vakum, lan wafer clamping kanthi mekanik nggawa

resiko tartamtu. Nalika pasukan dikonsentrasi ing titik clamping, wafer silikon rapuh bisa ngeculake pecahan cilik, nyebabake karusakan serius kanggo produksi wafer.

Ing kasus iki, Chuck Elektrostatik Keramik dadi pilihan sing luwih apik, sing ndandani wafer kanthi gaya elektrostatik. Pasukan elektrostatik tumindak roto-roto ing wafer, supaya wafer bisa tetep flatly, nambah akurasi proses.

Miturut makalah riset sing relevan, Chuck Elektrostatik Keramik duwe nyedhot sing luwih kuat tinimbang chuck elektrostatik liyane. Contone, Chuck Elektrostatik Keramik nduweni nyedhot sing luwih kuat tinimbang chuck elektrostatik film PET.

Ceramic E-chuck Physical Properties Keramik Chuck biasane digawe saka bahan keramik kinerja dhuwur kayata Al2O3, AlN utawa SiC, kang nduweni resistance panas dhuwur, jampel lan resistance karat. Porous SiC Ceramic Chuck ora mung stabil ing suhu sing ekstrem, nanging uga kanthi efektif nyegah E-chuck Keramik saka degradasi amarga reagen kimia lan etsa plasma sajrone proses manufaktur.

Kontrol suhu: Konduktivitas termal sing dhuwur lan sifat termal sing stabil saka bahan keramik ngaktifake Alumina Keramik Vakum Chuck kanthi efektif ngontrol suhu, saéngga ngoptimalake distribusi suhu sajrone proses kasebut.

Kapabilitas vakum: Keramik Electrostatic Chuck cocok kanggo lingkungan vakum, utamané ing kurang-meksa lan dhuwur-tliti pangolahan etching.

Generasi partikel sing kurang: Porous SiC Ceramic E-chuck nduweni permukaan sing alus, sing bisa nyuda kontaminasi partikel sajrone mbenakake wafer lan mbantu ningkatake asil produk.

Aplikasi: Utamane digunakake ing manufaktur semikonduktor, Chuck Elektrostatik Keramik sing bisa dicopot nyedhiyakake posisi lan stabilitas sing tepat, sing migunani banget kanggo litografi, etsa lan proses manufaktur wafer semikonduktor liyane. Priksa manawa wafer utuh sajrone proses lan ningkatake kualitas produksi chip.

VeTek SemikonduktorToko Keramik E-chuck produksi:

Semiconductor Equipment Graphite epitaxial substrate Graphite ring assembly Semiconductor process equipment