VeTek Semiconductor fokus ing manufaktur Silicon Nitride lan duwe tim riset lan pangembangan sing kasusun saka ahli senior lan bakat teknis paling dhuwur. Keramik silikon nitrida duweni kaluwihan kekerasan, tahan panas, tahan nyandhang lan tahan korosi bahan keramik umum, lan duwe kaluwihan tahan kejut termal sing apik, resistensi penjilat suhu dhuwur, pelumasan diri sing apik, lan stabilitas kimia sing apik, lan akeh banget. digunakake ing energi anyar, industri kimia, aerospace lan semikonduktor.
1. stabilitas kimia banget
Keramik silikon nitrida duwe stabilitas kimia sing apik lan bisa tahan macem-macem asam kuat, alkali lan gas korosif. Ing proses manufaktur semikonduktor asring perlu kanggo menehi hasil karo bahan kimia korosif, Silicon nitride keramik bisa nyedhiyani long-term njamin kinerja stabil.
2. Sifat mekanik sing apik banget
Keramik silikon nitrida nduweni kekerasan sing dhuwur, kekuatan tekan sing apik lan tahan nyandhang, bisa nahan stres mekanik lan nyandhang permukaan, ora gampang deformasi utawa pecah. Sifat mekanik iki cocog banget minangka bahan kanggo bagean struktural lan proses ing peralatan semikonduktor.
3. stabilitas suhu dhuwur
Keramik silikon nitrida bisa njaga stabilitas ing lingkungan suhu dhuwur, ora gampang lemes utawa leleh, lan bisa tahan pangolahan lan penanganan suhu dhuwur ing proses manufaktur semikonduktor. Iki ngidini kanggo digunakake ing Pabrik komponen tombol peralatan proses suhu dhuwur, kayata grippers, komponen kamar reaksi lan ing.
4. Sifat insulasi sing apik banget
Sifat insulasi penting ing manufaktur piranti semikonduktor. Keramik silikon nitrida nduweni sifat insulasi sing apik, sing bisa ngisolasi lan nglindhungi komponen sirkuit kanthi efektif saka bocor saiki utawa gangguan elektromagnetik, mbantu nambah stabilitas lan linuwih piranti kasebut.
5. Konduktivitas termal lan konduktivitas termal
Keramik silikon nitrida nduweni konduktivitas termal sing dhuwur, kanthi efektif bisa nindakake lan ngilangi panas sing diasilake piranti kasebut, mbantu njaga stabilitas suhu piranti ing proses operasi. Iki penting kanggo operasi kinerja dhuwur saka piranti semikonduktor.
1. Chucks elektrostatik lan komponen kamar etching
Keramik silikon nitrida asring digunakake minangka bahan kanggo chucks elektrostatik lan komponen kamar etsa ing manufaktur semikonduktor amarga stabilitas kimia sing apik lan tahan suhu dhuwur. Chucks elektrostatik digunakake kanggo ndandani lan stabil wafers utawa landasan, nalika komponen kamar etsa digunakake kanggo tahan gas korosif lan lingkungan suhu dhuwur.
2. piring distribusi gas lan reflektor
Keramik silikon nitrida uga digunakake kanggo nggawe peralatan semikonduktor ing piring distribusi gas lan reflektor. Piring distribusi gas digunakake kanggo nyebarake gas reaktif utawa protèktif kanthi seragam menyang kamar reaksi, dene reflektor digunakake kanggo ngoptimalake distribusi lan refleksi cahya ing ruang reaksi kanggo nambah efisiensi lan keseragaman reaksi.
3. Pemegang lan komponen termal
Keramik silikon nitrida asring digunakake minangka pemegang lan komponen manajemen termal ing peralatan manufaktur semikonduktor. Komponen kasebut kudu nduweni kekuatan mekanik sing apik, resistensi nyandhang lan konduktivitas termal kanggo njamin operasi peralatan sing stabil lan akurasi pangolahan piranti.
4. Chemical Mechanical Polishing (CMP) bantalan
Keramik Silicon Nitride akeh digunakake minangka bahan pad ing proses Chemical Mechanical Polishing (CMP). Wis flatness lan nyandhang resistance banget, lan bisa nyedhiyani support stabil sak proses polishing kanggo mesthekake flatness lan tliti lumahing wafer semikonduktor.