VeTek Semiconductor minangka produsen profesional lan pimpinan produk Tantalum Carbide Guide Ring ing China. Cincin Pandhuan Tantalum Carbide (TaC) minangka komponen cincin kinerja dhuwur sing digawe saka tantalum carbide, sing umum digunakake ing peralatan pangolahan semikonduktor, utamane ing lingkungan suhu dhuwur lan korosif kayata CVD, PVD, etsa lan difusi. VeTek Semiconductor setya nyedhiyakake teknologi canggih lan solusi produk kanggo industri semikonduktor, lan nampani pitakon luwih lanjut.
VeTek SemikonduktorTantalum Carbide Guide Ringdigawe sakagrafitlandilapisi tantalum karbida, kombinasi sing nggunakake sifat paling apik saka loro bahan kanggo njamin kinerja unggul lan umur dawa.
Inglapisan TaCing Tantalum Carbide Guide Ring mesthekake yen tetep kimia inert ing atmosfer reaktif saka tungku wutah kristal SiC, kang asring melu gas kayata hidrogen, argon, lan nitrogen. Inertness kimia iki penting kanggo nyegah kontaminasi kristal sing akeh, sing bisa nyebabake cacat lan nyuda kinerja produk semikonduktor pungkasan. Kajaba iku, stabilitas termal sing diwenehake dening lapisan TaC ngidini Cincin Panuntun Pelapisan Karbida Tantalum bisa digunakake kanthi efektif ing suhu dhuwur sing dibutuhake kanggowutah kristal SiC, biasane ngluwihi 2000 ° C.
Kajaba iku, kombinasi grafit lan TaC ing Tantalum Carbide Coating Ring ngoptimalake manajemen termal ing tungku pertumbuhan kristal. Konduktivitas termal dhuwur grafit kanthi efisien nyebarake panas, nyegah titik panas lan ningkatake pertumbuhan kristal sing seragam. Sauntara kuwi, lapisan Tantalum Carbide dadi penghalang termal, nglindhungi inti grafit saka paparan langsung menyang suhu dhuwur lan gas reaktif. Sinergi ing antarane bahan inti lan lapisan iki nyebabake cincin panuntun sing ora mung tahan kahanan sing angel tuwuh kristal SiC nanging uga nambah efisiensi lan kualitas proses sakabèhé.
Sifat mekanik VeTek Semiconductor Tantalum Carbide nyuda nyandhang lan luh ing Cincin Pelapisan Tantalum Carbide. Iki penting amarga sifat repetitive sakaproses wutah kristal, kang mbabarake ring guide kanggo siklus termal Kerep lan kaku mechanical. Tantalum Carbide kang atose lan nyandhang resistance mesthekake yen ring guide njaga integritas struktural lan dimensi pas liwat dangu, minimalake perlu kanggo panggantos Kerep lan ngurangi downtime ing proses Manufaktur.
VeTek SemikonduktorTantalum Carbide Coating Guide Ring minangka komponen penting ing industri semikonduktor, sing dirancang khusus kanggo pertumbuhanKristal Silicon Carbide Kab. Desaine nggunakake kekuwatan grafit lan tantalum karbida kanggo ngasilake kinerja sing luar biasa ing lingkungan kanthi suhu dhuwur lan stres. Lapisan TaC njamin inertness kimia, daya tahan mekanik, lan stabilitas termal, kabeh iku penting kanggo ngasilake kristal SiC sing berkualitas tinggi. Kanthi njaga integritas lan fungsionalitas ing kahanan sing ekstrim, cincin pandhuan ndhukung pertumbuhan kristal SiC sing efisien lan tanpa cacat, nyumbang kanggo kemajuan piranti semikonduktor kanthi daya dhuwur lan frekuensi dhuwur.
Lapisan tantalum karbida (TaC) ing bagean silang mikroskopis:
Sifat fisik lapisan TaC:
Sifat fisik lapisan TaC
Kapadhetan
14,3 (g/cm³)
Emisivitas spesifik
0.3
Koefisien ekspansi termal
6.3*10-6/K
Kekerasan (HK)
2000 HK
Resistance
1×10-5Om *cm
Stabilitas termal
<2500 ℃
owah-owahan ukuran grafit
-10~-20um
Ketebalan lapisan
Nilai khas ≥20um (35um±10um)