operator wafer Satelit Aixtron

Minangka produsen lan inovator produk Aixtron Satellite Wafer Carrier profesional ing China, VeTek Semiconductor's Aixtron Satellite Wafer Carrier minangka operator wafer sing digunakake ing peralatan AIXTRON, utamane digunakake ing proses MOCVD ing pangolahan semikonduktor, lan cocok banget kanggo suhu dhuwur lan presisi dhuwur. proses pangolahan semikonduktor. Operator bisa nyedhiyakake dhukungan wafer sing stabil lan deposisi film seragam sajrone wutah epitaxial MOCVD, sing penting kanggo proses deposisi lapisan. Sugeng rawuh konsultasi luwih lanjut.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Pembawa Wafer Satelit Aixtron minangka bagean integral saka peralatan AIXTRON MOCVD, khusus digunakake kanggo nindakake wafer kanggo pertumbuhan epitaxial. Iku utamané cocok kanggowutah epitaxialproses piranti GaN lan silikon karbida (SiC). Desain "satelit" sing unik ora mung njamin keseragaman aliran gas, nanging uga nambah keseragaman deposisi film ing permukaan wafer.

Aixtron kangoperator waferbiasane digawe sakasilikon karbida (SiC)utawa grafit sing dilapisi CVD. Ing antarane, silikon karbida (SiC) nduweni konduktivitas termal sing apik, tahan suhu dhuwur lan koefisien ekspansi termal sing kurang. Grafit sing dilapisi CVD yaiku grafit sing dilapisi film silikon karbida liwat proses deposisi uap kimia (CVD), sing bisa ningkatake ketahanan korosi lan kekuatan mekanik. SiC lan bahan grafit sing dilapisi bisa tahan suhu nganti 1,400 ° C–1,600 ° C lan nduweni stabilitas termal sing apik ing suhu dhuwur, sing penting kanggo proses pertumbuhan epitaxial.

Aixtron G5 MOCVD Susceptor

Aixtron Satellite Wafer Carrier utamané digunakake kanggo nindakake lan muter wafers ingProses MOCVDkanggo mesthekake aliran gas seragam lan deposisi seragam sak wutah epitaxial.Fungsi tartamtu kaya ing ngisor iki:

Rotasi wafer lan deposisi seragam: Liwat rotasi Carrier Satelit Aixtron, wafer bisa njaga gerakan stabil sajrone wutah epitaxial, saéngga gas bisa mili merata ing permukaan wafer kanggo njamin deposisi bahan sing seragam.

Bantalan suhu dhuwur lan stabilitas: Bahan silikon karbida utawa grafit sing dilapisi bisa tahan suhu nganti 1.400°C–1.600°C. Fitur iki mesthekake yen wafer ora bakal deform sajrone wutah epitaxial suhu dhuwur, nalika nyegah ekspansi termal operator kasebut dhewe ora kena pengaruh proses epitaxial.

Produksi partikel suda: Bahan pembawa bermutu tinggi (kayata SiC) nduweni permukaan alus sing nyuda produksi partikel sajrone deposisi uap, saéngga nyuda kemungkinan kontaminasi, sing penting kanggo ngasilake bahan semikonduktor kanthi kemurnian dhuwur lan berkualitas tinggi.

Pembawa Wafer Satelit Aixtron Semikonduktor VeTek kasedhiya ing ukuran wafer 100mm, 150mm, 200mm lan malah luwih gedhe, lan bisa nyedhiyakake layanan produk sing disesuaikan adhedhasar syarat peralatan lan proses sampeyan. Kita ngarep-arep dadi mitra jangka panjang ing China.