Dhukungan Coating Tantalum Carbide

Fungsi utama VeTek SemiconductorLapisan Tantalum Carbide (TaC).Dhukungan kanggo nambahresistance panas, resistance nyandhang lan resistance karatsaka landasan kanthi nutupi lapisan Tantalum Carbide Coating, supaya bisa nambah akurasi lan linuwih proses lan ngluwihi umur layanan komponen. Iki minangka produk lapisan kinerja dhuwur sing digunakake ing bidang pangolahan semikonduktor.

VeTek Semiconductor's Tantalum Carbide Coating Suppor nduweni atose Mohs meh 9 ~ 10, nomer loro tinimbang berlian. Nduwe resistance nyandhang sing kuwat banget lan bisa kanthi efektif nolak nyandhang permukaan lan impact sajrone proses, saengga bisa nambah umur layanan komponen peralatan. Digabungake karo titik leleh dhuwur kira-kira 3880 ° C, asring digunakake kanggo nutupi komponen kunci peralatan semikonduktor, kayata lapisan permukaan struktur dhukungan, peralatan perawatan panas, kamar utawa gasket ing peralatan semikonduktor kanggo nambah resistensi nyandhang lan suhu dhuwur. resistensi.

Amarga titik lebur Tantalum Carbide sing dhuwur banget kira-kira 3880 ° C, ing proses pangolahan semikonduktor kayatadeposisi uap kimia (CVD)landeposisi uap fisik (PVD), TaC Coating kanthi tahan suhu dhuwur sing kuwat lan tahan korosi kimia bisa kanthi efektif nglindhungi komponen peralatan lan nyegah karat utawa karusakan ing substrat ing lingkungan sing ekstrem, nyedhiyakake perlindungan efektif kanggo lingkungan suhu dhuwur ing manufaktur wafer. Fitur iki uga nemtokake manawa Dhukungan Coating Tantalum Carbide VeTek Semiconductor asring digunakake ing proses etsa lan korosif.

Dhukungan Coating Tantalum Carbide uga nduweni fungsi kanggo nyuda kontaminasi partikel. Sajrone pangolahan wafer, nyandhang lumahing biasane ngasilake kontaminasi partikel, sing mengaruhi kualitas produk wafer. Karakteristik produk ekstrem TaC Coating sing cedhak karo kekerasan 9-10 Mohs kanthi efektif bisa nyuda nyandhang iki, saengga bisa nyuda produksi partikel. Digabungake karo konduktivitas termal TaC Coating sing apik banget (udakara 21 W / m · K), bisa njaga konduktivitas termal sing apik ing kahanan suhu sing dhuwur, saengga bisa ningkatake asil lan konsistensi manufaktur wafer.

Produk TaC Coating utama VeTek Semiconductor kalebuTaC Coating Heater, CVD TaC Coating Crucible, TaC Coating Rotasi SusceptorlanTaC Coating Spare Part, etc., lan ndhukung layanan produk selaras. VeTek Semiconductor setya nyedhiyakake produk lan solusi teknis sing apik kanggo industri semikonduktor. Kita ngarep-arep dadi mitra jangka panjang ing China.

Lapisan tantalum karbida (TaC) ing bagean silang mikroskopis:

Sifat fisik dhasar saka lapisan CVD TaC：