Semikonduktor VeTek minangka produsen utama bahan Tantalum Carbide Coating kanggo industri semikonduktor. Penawaran produk utama kalebu bagean lapisan karbida tantalum CVD, bagean lapisan TaC sing disinter kanggo pertumbuhan kristal SiC utawa proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor nduweni kontrol kualitas sing apik. VeTek Semiconductor darmabakti kanggo dadi inovator ing industri Tantalum Carbide Coating liwat riset lan pangembangan teknologi iteratif.
Produk utama yaikuTantalum Carbide coating defector ring, TaC coated diversion ring, TaC coated halfmoon parts, Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk (Aixtron G10), TaC Coated Crucible; TaC Coated Rings; TaC Coated Porous Graphite; Tantalum Carbide Coating Graphite Susceptor; TaC Coated Guide Ring; TaC Tantalum Carbide Coated Plate; TaC Coated Wafer Susceptor; TaC Coating Ring; TaC Coating Graphite Cover; TaC Coated Chunketc., kemurnian ngisor 5ppm, bisa ketemu syarat customer.
Grafit lapisan TaC digawe kanthi nutupi permukaan substrat grafit kanthi kemurnian dhuwur kanthi lapisan tantalum karbida kanthi proses Deposisi Uap Kimia (CVD) proprietary. Kauntungan ditampilake ing gambar ing ngisor iki:
Lapisan tantalum carbide (TaC) wis entuk perhatian amarga titik leleh sing dhuwur nganti 3880 ° C, kekuatan mekanik sing apik, kekerasan, lan tahan kanggo kejut termal, dadi alternatif sing apik kanggo proses epitaksi semikonduktor senyawa kanthi syarat suhu sing luwih dhuwur, kayata sistem Aixtron MOCVD lan proses epitaksi LPE SiC. Uga nduweni aplikasi sing akeh ing proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.
Stabilitas suhu
kemurnian Ultra dhuwur
Resistance kanggo H2, NH3, SiH4, Si
Resistance kanggo stock termal
Adhesion kuwat kanggo grafit
Jangkoan lapisan conformal
Ukuran nganti diameter 750 mm (Produsen mung ing China tekan ukuran iki)
Pembawa wafer
Susceptor pemanasan induktif
Elemen pemanas resistif
disk satelit
Pancuran
Ring guide
panrima LED Epi
Nozzle injeksi
Masking ring
tameng panas
Sifat fisik lapisan TaC | |
Kapadhetan | 14,3 (g/cm³) |
Emisivitas spesifik | 0.3 |
Koefisien ekspansi termal | 6.3 10-6/K |
Kekerasan (HK) | 2000 HK |
Resistance | 1×10-5Om *cm |
Stabilitas termal | <2500 ℃ |
owah-owahan ukuran grafit | -10~-20um |
Ketebalan lapisan | ≥20um nilai khas (35um±10um) |
unsur | Atom persen | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Rata-rata | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ta M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Dering Lapisan CVD TaC Semikonduktor VeTek minangka komponen sing nguntungake sing dirancang kanggo nyukupi kabutuhan proses pertumbuhan kristal silikon karbida (SiC). CVD TaC Coating Ring nyedhiyakake resistensi suhu dhuwur lan inertness kimia sing luar biasa, dadi pilihan sing cocog kanggo lingkungan sing ditondoi kanthi suhu sing dhuwur lan kahanan korosif. ing China.
Waca liyaneKirim PitakonanLPE SiC Epi Halfmoon dening VeTek Semiconductor, produk revolusioner sing dirancang kanggo ngunggahake proses epitaksi SiC reaktor LPE. Solusi mutakhir iki nduweni sawetara fitur utama sing njamin kinerja lan efisiensi sing unggul ing saindhenging operasi manufaktur sampeyan. Looking nerusake kanggo nyetel kerjasama jangka panjang karo sampeyan.
Waca liyaneKirim PitakonanVeTek Semiconductor minangka pemasok utama lapisan TaC lan bagean grafit lapisan SiC. We spesialis ing produksi nglereni-pinggiran LED EPI Susceptors, penting kanggo proses LED epitaxy. Kanthi fokus sing kuat ing inovasi lan kualitas, kita nawakake solusi sing bisa dipercaya sing nyukupi syarat ketat industri LED. Hubungi kita dina iki kanggo ngrembug pitakon lan temokake kepiye produk bisa nambah proses manufaktur sampeyan.
Waca liyaneKirim PitakonanVeTek Semiconductor minangka pemasok lengkap sing melu riset, pangembangan, produksi, desain, lan dodolan lapisan TaC lan bagean lapisan SiC. Keahlian kita ana ing produksi Susceptor MOCVD kanthi TaC Coating, sing nduwe peran penting ing proses epitaksi LED. We welcome sampeyan kanggo ngrembug karo kita pitakonan lan informasi luwih.
Waca liyaneKirim PitakonanVeTek Semiconductor minangka pemasok terpadu sing melu riset lan pangembangan, produksi, desain, lan dodolan lapisan TaC. Kita spesialis ing manufaktur TaC Coated UV LED Susceptors, sing minangka komponen penting ing proses epitaksi LED. TaC Coated Deep UV LED Susceptor nawakake konduktivitas termal sing dhuwur, kekuatan mekanik sing dhuwur, efisiensi produksi sing luwih apik, lan proteksi wafer epitaxial. Sugeng rawuh ing pitakonan kita.
Waca liyaneKirim PitakonanVeTek Semiconductor minangka produsen lan pemasok terkemuka ing China kanggo Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, kita khusus ing R&D lan produksi, bisa ngontrol kualitas kanthi apik lan nawakake rega sing kompetitif. Sampeyan olèh ngunjungi pabrik kita kanggo diskusi luwih ing kerjasama long-term.
Waca liyaneKirim Pitakonan