CVD TaC Coating Wafer Carrier

Minangka produsen lan pabrik produk Wafer Carrier Coating CVD TaC profesional ing China, VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier minangka alat mawa wafer sing dirancang khusus kanggo suhu dhuwur lan lingkungan korosif ing manufaktur semikonduktor. Produk iki nduweni kekuatan mekanik sing dhuwur, tahan korosi sing apik lan stabilitas termal, nyedhiyakake jaminan sing dibutuhake kanggo nggawe piranti semikonduktor berkualitas tinggi. pitakonan Panjenengan luwih olèh.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Sajrone proses manufaktur semikonduktor, VeTek SemiconductorCVD TaC Coating Wafer Carrieryaiku wadhah sing digunakake kanggo nggawa wafer. Produk iki nggunakake proses deposisi uap kimia (CVD) kanggo nutupi lapisan TaC Coating ing permukaanSubstrat Wafer Carrier. Lapisan iki bisa ningkatake resistensi oksidasi lan karat saka operator wafer, nalika nyuda kontaminasi partikel sajrone proses. Iki minangka komponen penting ing pangolahan semikonduktor.

VeTek SemikonduktorCVD TaC Coating Wafer Carrierkasusun saka substrat lan alapisan tantalum karbida (TaC)..

Kekandelan lapisan karbida tantalum biasane ana ing kisaran 30 mikron, lan TaC nduweni titik leleh nganti 3,880 ° C nalika nyedhiyakake karat lan tahan nyandhang, ing antarane sifat liyane.

Bahan dasar pembawa digawe saka grafit kemurnian dhuwur utawasilikon karbida (SiC), lan banjur lapisan TaC (Knoop atose nganti 2000HK) dilapisi ing lumahing liwat proses CVD kanggo nambah resistance karat lan kekuatan mechanical.

VeTek Semiconductor's CVD TaC Coating Wafer Carrier biasanemuter peran ing ngisor iki sak proses wafer mbeta:

Wafer loading lan fiksasi: The Knoop atose tantalum carbide minangka dhuwur minangka 2000HK, kang èfèktif bisa njamin support stabil saka wafer ing kamar reaksi. Digabungake karo konduktivitas termal apik saka TaC (konduktivitas termal kira 21 W / mK), bisa nggawe lumahing wafer digawe panas roto-roto lan njogo distribusi suhu seragam, kang mbantu entuk wutah seragam saka lapisan epitaxial.

Ngurangi kontaminasi partikel: Lumahing alus lan atose dhuwur saka lapisan CVD TaC mbantu nyuda gesekan ing antarane operator lan wafer, saéngga nyuda risiko kontaminasi partikel, sing dadi kunci kanggo nggawe piranti semikonduktor berkualitas tinggi.

Stabilitas suhu dhuwur: Sajrone pangolahan semikonduktor, suhu operasi nyata biasane antarane 1,200 ° C lan 1,600 ° C, lan lapisan TaC duwe titik leleh nganti 3,880 ° C. Digabungake karo koefisien ekspansi termal sing kurang (koefisien ekspansi termal kira-kira 6,3 × 10⁻⁶ / ° C), operator bisa njaga kekuatan mekanik lan stabilitas dimensi ing kondisi suhu dhuwur, nyegah wafer saka retak utawa deformasi stres sajrone proses .

Lapisan tantalum karbida (TaC) ing bagean silang mikroskopis:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 1

Sifat fisik dhasar saka lapisan CVD TaC：

Sifat fisik lapisan TaC
Kapadhetan	14,3 (g/cm³)
Emisivitas spesifik	0.3
Koefisien ekspansi termal	6.3*10-6/K
Kekerasan (HK)	2000 HK
Resistance	1 × 10-5 Ohm * cm
Stabilitas termal	<2500 ℃
owah-owahan ukuran grafit	-10~-20um
Ketebalan lapisan	≥20um nilai khas (35um±10um)