Semikonduktor VeTek minangka produsen utama bahan Tantalum Carbide Coating kanggo industri semikonduktor. Penawaran produk utama kalebu bagean lapisan karbida tantalum CVD, bagean lapisan TaC sing disinter kanggo pertumbuhan kristal SiC utawa proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor nduweni kontrol kualitas sing apik. VeTek Semiconductor darmabakti kanggo dadi inovator ing industri Tantalum Carbide Coating liwat riset lan pangembangan teknologi iteratif.
Produk utama yaikuTantalum Carbide coating defector ring, TaC coated diversion ring, TaC coated halfmoon parts, Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk (Aixtron G10), TaC Coated Crucible; TaC Coated Rings; TaC Coated Porous Graphite; Tantalum Carbide Coating Graphite Susceptor; TaC Coated Guide Ring; TaC Tantalum Carbide Coated Plate; TaC Coated Wafer Susceptor; TaC Coating Ring; TaC Coating Graphite Cover; TaC Coated Chunketc., kemurnian ngisor 5ppm, bisa ketemu syarat customer.
Grafit lapisan TaC digawe kanthi nutupi permukaan substrat grafit kanthi kemurnian dhuwur kanthi lapisan tantalum karbida kanthi proses Deposisi Uap Kimia (CVD) proprietary. Kauntungan ditampilake ing gambar ing ngisor iki:
Lapisan tantalum carbide (TaC) wis entuk perhatian amarga titik leleh sing dhuwur nganti 3880 ° C, kekuatan mekanik sing apik, kekerasan, lan tahan kanggo kejut termal, dadi alternatif sing apik kanggo proses epitaksi semikonduktor senyawa kanthi syarat suhu sing luwih dhuwur, kayata sistem Aixtron MOCVD lan proses epitaksi LPE SiC. Uga nduweni aplikasi sing akeh ing proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.
Stabilitas suhu
kemurnian Ultra dhuwur
Resistance kanggo H2, NH3, SiH4, Si
Resistance kanggo stock termal
Adhesion kuwat kanggo grafit
Jangkoan lapisan conformal
Ukuran nganti diameter 750 mm (Produsen mung ing China tekan ukuran iki)
Pembawa wafer
Susceptor pemanasan induktif
Elemen pemanas resistif
disk satelit
Pancuran
Ring guide
panrima LED Epi
Nozzle injeksi
Masking ring
tameng panas
Sifat fisik lapisan TaC | |
Kapadhetan | 14,3 (g/cm³) |
Emisivitas spesifik | 0.3 |
Koefisien ekspansi termal | 6.3 10-6/K |
Kekerasan (HK) | 2000 HK |
Resistance | 1×10-5Om *cm |
Stabilitas termal | <2500 ℃ |
owah-owahan ukuran grafit | -10~-20um |
Ketebalan lapisan | ≥20um nilai khas (35um±10um) |
unsur | Atom persen | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Rata-rata | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ta M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor minangka produsen profesional TaC Coating Plate lan spare parts TaC Coating liyane ing China. TaC Coating saiki utamane digunakake ing proses kayata pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida (metode PVT), disk epitaxial (kalebu epitaksi silikon karbida, epitaksi LED), lan liya-liyane. Digabungake karo stabilitas jangka panjang TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Plate Coating wis dadi pathokan kanggo spare parts TaC Coating. We look nerusake kanggo sampeyan dadi partner long-term kita.
Waca liyaneKirim PitakonanVeTek Semiconductor minangka produsen profesional GaN ing susceptor epi SiC, lapisan CVD SiC, lan susceptor grafit COATING CVD TAC ing China. Antarane wong-wong mau, GaN ing susceptor epi SiC nduweni peran penting ing pangolahan semikonduktor. Liwat konduktivitas termal sing apik, kemampuan pangolahan suhu dhuwur lan stabilitas kimia, njamin efisiensi lan kualitas materi saka proses pertumbuhan epitaxial GaN. We Sincerely looking nerusake kanggo rembugan luwih.
Waca liyaneKirim PitakonanOperator Lapisan CVD TaC Semikonduktor VeTek utamane dirancang kanggo proses epitaxial manufaktur semikonduktor. CVD TaC Coating carrier's Ultra-high titik leleh, resistance karat banget, lan stabilitas termal pinunjul nemtokake indispensability prodhuk iki ing semikonduktor epitaxial process.we Sincerely ngarep-arep kanggo mbangun hubungan bisnis long-term karo sampeyan.
Waca liyaneKirim PitakonanCincin Pandhuan TaC Semikonduktor VeTek digawe kanthi nggunakake lapisan tantalum karbida ing bagean grafit kanthi nggunakake teknik canggih sing diarani chemical vapor deposition (CVD). Cara iki wis mantep lan nawakake sifat lapisan sing luar biasa. Kanthi nggunakake TaC Coating Guide Ring, umur komponen grafit bisa ditambah kanthi signifikan, gerakan impurities grafit bisa ditindhes, lan kualitas kristal tunggal SiC lan AIN bisa dipertahankan kanthi andal. Sugeng rawuh ing pitakonan kita.
Waca liyaneKirim PitakonanVeTek Semiconductor's TaC Coated Graphite Susceptor nggunakake metode deposisi uap kimia (CVD) kanggo nyiapake lapisan tantalum karbida ing permukaan bagean grafit. Proses iki paling diwasa lan nduweni sifat lapisan sing paling apik. TaC Coated Graphite Susceptor bisa ngluwihi umur layanan komponen grafit, nyandhet migrasi impurities grafit, lan njamin kualitas epitaxy. VeTek Semiconductor ngarepake pitakon sampeyan.
Waca liyaneKirim PitakonanVeTek Semiconductor nampilake TaC Coating Susceptor, Kanthi lapisan TaC sing luar biasa, susceptor iki nawakake akeh kaluwihan sing beda karo solusi konvensional. Nggabungake kanthi lancar menyang sistem sing ana, TaC Coating Susceptor saka VeTek Semiconductor njamin kompatibilitas lan operasi sing efisien. Kinerja sing dipercaya lan lapisan TaC sing berkualitas kanthi konsisten menehi asil sing luar biasa ing proses epitaksi SiC. Kita setya nyedhiyakake produk sing berkualitas kanthi rega sing kompetitif lan ngarepake dadi mitra jangka panjang ing China.
Waca liyaneKirim Pitakonan