TaC Coating Chuck

VeTek Semiconductor's TaC Coating Chuck minangka solusi sing cocog kanggo entuk asil sing luar biasa ing proses SiC EPI. Kanthi lapisan TaC, tahan suhu dhuwur, lan inertness kimia, produk kita menehi daya kanggo ngasilake kristal kualitas kanthi presisi lan linuwih. Sugeng rawuh ing pitakonan kita.

TaC (tantalum carbide) minangka bahan sing umum digunakake kanggo nutupi permukaan bagian internal peralatan epitaxial. Wis ciri ing ngisor iki:

● Resistance suhu dhuwur banget: Lapisan TaC bisa tahan suhu nganti 2200°C, dadi becik kanggo aplikasi ing lingkungan suhu dhuwur kayata kamar reaksi epitaxial.

● kekerasan dhuwur: Kekerasan TaC tekan udakara 2000 HK, sing luwih angel tinimbang baja tahan karat utawa paduan aluminium sing umum, sing bisa nyegah nyandhang lumahing kanthi efektif.

● Stabilitas kimia sing kuwat: lapisan TaC performs apik ing lingkungan kimia korosif lan bisa nemen ngluwihi umur layanan komponen peralatan epitaxial.

● Konduktivitas listrik sing apik: lapisan TaC wis konduktivitas electrical apik, kang kondusif kanggo release elektrostatik lan konduksi panas.

Properti kasebut nggawe lapisan TaC minangka bahan sing cocog kanggo nggawe bagean kritis kayata bushing internal, tembok kamar reaksi, lan unsur pemanas kanggo peralatan epitaxial. Kanthi nutupi komponen kasebut karo TaC, kinerja sakabèhé lan umur layanan saka peralatan epitaxial bisa ditingkatake.

Kanggo epitaksi silikon karbida, potongan lapisan TaC uga bisa dadi peran penting. Lumahing TaC lapisan punika Gamelan lan kandhel, kang kondusif kanggo tatanan saka kualitas film silikon karbida. Ing wektu sing padha, konduktivitas termal banget saka TaC bisa bantuan nambah uniformity saka distribusi suhu nang peralatan, mangkono nambah akurasi kontrol suhu saka proses epitaxial, lan pungkasanipun kagelar nampa kualitas sing luwih dhuwur Silicon carbide wutah lapisan epitaxial.