TaC Coating Planetary Susceptor

VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor minangka produk sing luar biasa kanggo peralatan epitaksi Aixtron. Lapisan TaC sing kuat nyedhiyakake resistensi suhu dhuwur lan inert kimia sing apik. Kombinasi unik iki njamin kinerja sing dipercaya lan umur layanan sing dawa, sanajan ing lingkungan sing nuntut. VeTek setya nyedhiyakake produk sing bermutu lan dadi mitra jangka panjang ing pasar China kanthi rega sing kompetitif.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Ing alam manufaktur semikonduktor, TaC Coating Planetary Susceptor nduweni peran penting. Iki digunakake kanthi wiyar ing pertumbuhan lapisan epitaxial silikon karbida (SiC) ing peralatan kaya sistem Aixtron G5. Salajengipun, nalika digunakake minangka disk njaba ing tantalum carbide (TaC) deposition lapisan kanggo SiC epitaxy, TaC Coating Planetary Susceptor nyedhiyakake dhukungan lan stabilitas sing penting. Iki njamin deposisi seragam lapisan karbida tantalum, nyumbang kanggo pembentukan lapisan epitaxial sing berkualitas kanthi morfologi permukaan sing apik lan ketebalan film sing dikarepake. Inertness kimia lapisan TaC nyegah reaksi lan kontaminasi sing ora dikarepake, njaga integritas lapisan epitaxial lan njamin kualitas sing unggul.

Konduktivitas termal lapisan TaC sing luar biasa ngidini transfer panas sing efisien, ningkatake distribusi suhu seragam lan nyuda stres termal sajrone proses pertumbuhan epitaxial. Iki nyebabake produksi lapisan epitaxial SiC sing berkualitas kanthi sifat kristalografi sing luwih apik lan konduktivitas listrik sing luwih apik.

Dimensi sing tepat lan konstruksi sing kuat saka TaC Coating Planetary Disk nggampangake kanggo nggabungake menyang sistem sing ana, njamin kompatibilitas lancar lan operasi sing efisien. Kinerja sing dipercaya lan lapisan TaC sing bermutu menehi kontribusi kanggo asil sing konsisten lan seragam ing proses epitaksi SiC.

Percaya VeTek Semiconductor lan TaC Coating Planetary Disk kanggo kinerja lan linuwih sing luar biasa ing epitaksi SiC. Ngalami kaluwihan saka solusi inovatif kita, posisi sampeyan ing ngarep kemajuan teknologi ing industri semikonduktor.

TaC coating lan SiC coating spare parts sing disedhiyakake:

Parameter produk saka TaC Coating Planetary Susceptor:

Sifat fisik lapisan TaC
Kapadhetan	14,3 (g/cm³)
Emisivitas spesifik	0.3
Koefisien ekspansi termal	6.3 10-6/K
Kekerasan (HK)	2000 HK
Resistance	1 × 10-5 Ohm * cm
Stabilitas termal	<2500 ℃
owah-owahan ukuran grafit	-10~-20um
Ketebalan lapisan	Nilai khas ≥20um (35um±10um)