TaC Coating Spare Part

VeTek Semiconductor minangka produsen profesional TaC Coating Plate lan spare parts TaC Coating liyane ing China. TaC Coating saiki utamane digunakake ing proses kayata pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida (metode PVT), disk epitaxial (kalebu epitaksi silikon karbida, epitaksi LED), lan liya-liyane. Digabungake karo stabilitas jangka panjang TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Plate Coating wis dadi pathokan kanggo spare parts TaC Coating. We look nerusake kanggo sampeyan dadi partner long-term kita.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

VeTek SemikonduktorTaC Coating Plateminangka bahan khusus sing akeh digunakake ingsemikonduktorproses produksi. Digabungake karo atose dhuwur lan resistance nyandhang, resistance suhu dhuwur, resistance karat, koefisien gesekan kurang lan konduktivitas termal apik, TaC Coating Plate muter peran irreplaceable ing akeh pranala Processing semikonduktor.

Umumé, aplikasi sakaTaC dilapisi piringing pangolahan semikonduktor kaya ing ngisor iki:

Substrat pertumbuhan CVD/ALD: Resistensi suhu dhuwur, stabilitas kimia lan koefisien gesekan sing sithik saka piring sing dilapisi TaC nggawe substrat pertumbuhan CVD / ALD sing cocog. Bisa nyedhiyakake lingkungan pertumbuhan sing stabil kanggo njamin keseragaman lan kapadhetan film.

Etching piring topeng: Ing atose dhuwur lan resistance karat saka TaC dilapisi piring mbisakake kanggo tahan pangolahan energi dhuwur kayata etching plasma, minangka piring topeng etching, nglindhungi film ndasari.

CMP polishing pad: Resistance nyandhang lan koefisien gesekan sing kurang saka piring sing dilapisi TaC nggawe bahan sing cocog kanggo bantalan polishing CMP, sing bisa mbusak partikel lan cacat kanthi efektif ing permukaan film.

Tabung tungku suhu dhuwur: Ing resistance suhu dhuwur lan resistance karat saka TaC dilapisi piring mbisakake kanggo digunakake minangka tabung tungku ing tungku suhu dhuwur kanggo suhu dhuwur annealing, difusi lan pangolahan liyane.

Digabungake karo karakteristik produk sakaTaC Coating Plate, nemtokake manawa produk iki nduweni peran kunci sing ora bisa diganti kanggo ningkatake kinerja piranti, nambah umur peralatan lan ningkatake efisiensi produksi.

Minangka produsen profesional sakaGaN ing akseptor epi SiC, Graphite keroposlanTaC Coating Plateing China, VeTek Semiconductor tansah nandheske ing nyediakake layanan produk selaras, lan setya kanggo nyedhiyani industri karo teknologi ndhuwur lan solusi produk. We Sincerely looking nerusake kanggo rembugan luwih.

CVD TAC COATING Parameter Teknis：