TaC Coated Graphite Susceptor

VeTek Semiconductor's TaC Coated Graphite Susceptor nggunakake metode deposisi uap kimia (CVD) kanggo nyiapake lapisan tantalum karbida ing permukaan bagean grafit. Proses iki paling diwasa lan nduweni sifat lapisan sing paling apik. TaC Coated Graphite Susceptor bisa ngluwihi umur layanan komponen grafit, nyandhet migrasi impurities grafit, lan njamin kualitas epitaxy. VeTek Semiconductor ngarepake pitakon sampeyan.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Sampeyan disambut teka ing pabrik VeTek Semiconductor kanggo tuku adol paling anyar, rega murah, lan TaC Coated Graphite Susceptor berkualitas tinggi. We look nerusake kanggo kerjo bareng karo sampeyan.

Tantalum carbide materi keramik titik leleh nganti 3880 ℃, punika titik leleh dhuwur lan stabilitas kimia apik saka senyawa, lingkungan suhu dhuwur isih bisa njaga kinerja stabil, ing Kajaba iku, iku uga wis resistance suhu dhuwur, resistance karat kimia, kimia apik. lan kompatibilitas mekanik karo bahan karbon lan karakteristik liyane, nggawe bahan lapisan protèktif substrat grafit sing cocog. Lapisan karbida tantalum kanthi efektif bisa nglindhungi komponen grafit saka pengaruh amonia panas, hidrogen lan uap silikon lan logam molten ing lingkungan panggunaan sing atos, kanthi signifikan ngluwihi umur layanan komponen grafit, lan nyandhet migrasi impurities ing grafit, njamin kualitas epitaxy lan wutah kristal. Iku utamané digunakake ing proses Keramik udan.

Deposisi uap kimia (CVD) minangka cara persiapan sing paling diwasa lan optimal kanggo lapisan tantalum karbida ing permukaan grafit.

Metode Pelapisan TaC CVD kanggo Susceptor Graphite Coated TaC:

Proses lapisan nggunakake TaCl5 lan propylene minangka sumber karbon lan sumber tantalum, lan argon minangka gas pembawa kanggo nggawa uap tantalum pentachloride menyang kamar reaksi sawise gasifikasi suhu dhuwur. Ing suhu lan tekanan target, uap bahan prekursor diserap ing permukaan bagian grafit, lan ana sawetara reaksi kimia sing kompleks kayata dekomposisi lan kombinasi sumber karbon lan sumber tantalum. Ing wektu sing padha, sawetara reaksi permukaan kayata difusi prekursor lan desorpsi produk sampingan uga melu. Pungkasan, lapisan protèktif sing padhet dibentuk ing permukaan bagéan grafit, sing nglindhungi bagéan grafit saka stabil ing kahanan lingkungan sing ekstrim. Skenario aplikasi bahan grafit saya tambah akeh.

Parameter produk saka TaC Coated Graphite Susceptor:

Sifat fisik lapisan TaC
Kapadhetan	14,3 (g/cm³)
Emisivitas spesifik	0.3
Koefisien ekspansi termal	6.3 10-6/K
Kekerasan (HK)	2000 HK
Resistance	1 × 10-5 Ohm * cm
Stabilitas termal	<2500 ℃
owah-owahan ukuran grafit	-10~-20um
Ketebalan lapisan	Nilai khas ≥20um (35um±10um)