Lapisan karbida unik VeTek Semiconductor nyedhiyakake proteksi sing unggul kanggo bagean grafit ing Proses Epitaxy SiC kanggo ngolah bahan semikonduktor lan bahan semikonduktor komposit sing nuntut. Asil punika lengkap urip komponen grafit, pengawetan saka reaksi stoikiometri, inhibisi migrasi impurity kanggo epitaxy lan aplikasi wutah kristal, asil ing asil tambah lan kualitas.
Lapisan tantalum carbide (TaC) kita nglindhungi tungku kritis lan komponen reaktor ing suhu dhuwur (nganti 2200 ° C) saka amonia panas, hidrogen, uap silikon lan logam cair. VeTek Semiconductor duwe macem-macem pangolahan lan pangukuran grafit kanggo nyukupi syarat khusus sampeyan, supaya kita bisa menehi lapisan sing mbayar ragad utawa layanan lengkap, kanthi tim insinyur ahli siap ngrancang solusi sing cocog kanggo sampeyan lan aplikasi khusus sampeyan. .
Kristal semikonduktor senyawa
VeTek Semiconductor bisa nyedhiyakake lapisan TaC khusus kanggo macem-macem komponen lan operator. Liwat proses lapisan utama industri VeTek Semiconductor, lapisan TaC bisa entuk kemurnian sing dhuwur, stabilitas suhu dhuwur lan resistensi kimia sing dhuwur, saéngga nambah kualitas produk lapisan kristal TaC / GaN) lan EPl, lan ndawakake umur komponen reaktor kritis.
Insulator termal
Komponen pertumbuhan kristal SiC, GaN lan AlN kalebu crucibles, wadhah wiji, deflektor lan saringan. Majelis industri kalebu unsur pemanasan resistif, muncung, dering pelindung lan peralatan brazing, komponen reaktor CVD epitaxial GaN lan SiC kalebu operator wafer, tray satelit, sirah pancuran, tutup lan pedestal, komponen MOCVD.
LED (Light Emitting Diode) Wafer Carrier
ALD (Semikonduktor) Receiver
Reseptor EPI (Proses Epitaksi SiC)
TaC dilapisi Satellite Susceptor TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating bagean Parts Halfmoon karo TaC Coating
SiC | TaC | |
Fitur Utama | Kemurnian ultra dhuwur, resistensi Plasma sing apik banget | stabilitas suhu dhuwur banget (konformitas proses suhu dhuwur) |
Kemurnian | >99.9999% | >99.9999% |
Kapadhetan (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Kekerasan (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Resistivitas [Ωcm] | 0,1-15,000 | <1 |
Konduktivitas termal (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Koefisien ekspansi termal (10-6 / ℃) | 4.5-5 | 6.3 |
Aplikasi | Peralatan Semikonduktor Keramik jig (Cincin Fokus, Kepala Pancuran, Dummy Wafer) | SiC Pertumbuhan kristal Tunggal, Epi, Bagian Peralatan LED UV |
Minangka produsen majeng lan produser produk Tantalum Carbide Ring ing China, VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Ring nduweni atose dhuwur banget, resistance nyandhang, resistance suhu dhuwur lan stabilitas kimia, lan digunakake digunakake ing lapangan manufaktur semikonduktor. Utamane ing CVD, PVD, proses implantasi ion, proses etsa, lan pangolahan lan transportasi wafer, iku minangka produk sing ora bisa dipisahake kanggo pangolahan lan manufaktur semikonduktor. Looking nerusake kanggo rembugan luwih.
Waca liyaneKirim PitakonanMinangka produsen lan pabrik produk Dhukungan Tantalum Carbide Coating profesional ing China, VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support biasane digunakake kanggo lapisan permukaan komponen struktural utawa komponen dhukungan ing peralatan semikonduktor, utamane kanggo proteksi permukaan komponen peralatan utama ing proses manufaktur semikonduktor kayata CVD lan PVD. Sugeng rawuh konsultasi luwih lanjut.
Waca liyaneKirim PitakonanVeTek Semiconductor minangka produsen profesional lan pimpinan produk Tantalum Carbide Guide Ring ing China. Cincin Pandhuan Tantalum Carbide (TaC) minangka komponen cincin kinerja dhuwur sing digawe saka tantalum carbide, sing umum digunakake ing peralatan pangolahan semikonduktor, utamane ing lingkungan suhu dhuwur lan korosif kayata CVD, PVD, etsa lan difusi. VeTek Semiconductor setya nyedhiyakake teknologi canggih lan solusi produk kanggo industri semikonduktor, lan nampani pitakon luwih lanjut.
Waca liyaneKirim PitakonanMinangka produsen profesional, inovator lan pimpinan produk TaC Coating Rotation Susceptor ing China. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor biasane dipasang ing deposisi uap kimia (CVD) lan peralatan epitaxy beam molekul (MBE) kanggo ndhukung lan muter wafer kanggo njamin deposisi materi seragam lan reaksi efisien. Iki minangka komponen kunci ing pangolahan semikonduktor. Sugeng rawuh konsultasi luwih lanjut.
Waca liyaneKirim PitakonanVeTek Semiconductor minangka produsen profesional lan pimpinan produk CVD TaC Coating Crucible ing China. CVD TaC Coating Crucible adhedhasar lapisan karbon tantalum (TaC). Lapisan karbon tantalum ditutupi kanthi rata ing permukaan crucible liwat proses deposisi uap kimia (CVD) kanggo nambah resistensi panas lan tahan karat. Iki minangka alat material sing digunakake khusus ing lingkungan ekstrem suhu dhuwur. Sugeng rawuh konsultasi luwih lanjut.
Waca liyaneKirim PitakonanMinangka produsen lan pabrik produk Wafer Carrier Coating CVD TaC profesional ing China, VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier minangka alat mawa wafer sing dirancang khusus kanggo suhu dhuwur lan lingkungan korosif ing manufaktur semikonduktor. lan CVD TaC Coating Wafer Carrier nduweni kekuatan mekanik sing dhuwur, tahan korosi lan stabilitas termal, nyedhiyakake jaminan sing dibutuhake kanggo nggawe piranti semikonduktor berkualitas tinggi. pitakonan Panjenengan luwih olèh.
Waca liyaneKirim Pitakonan