SiC lapisan grafit halfmoon

Ing kamar reaksi saka tungku wutah epitaxial SiC, bagean SiC lapisan grafit Halfmoon minangka komponen kunci kanggo ngoptimalake distribusi aliran gas, kontrol lapangan termal, lan keseragaman atmosfer reaksi. Biasane digawe saka lapisan SiCgrafit,dirancang ing wangun setengah rembulan, dumunung ing bagean grafit ndhuwur lan ngisor saka kamar reaksi, watara area substrate.

    •Bagean grafit halfmoon ndhuwur: dipasang ing sisih ndhuwur kamar reaksi, cedhak inlet gas, tanggung jawab kanggo nuntun gas reaksi kanggo mili menyang lumahing landasan.

    •Bagean grafit halfmoon ngisor: dumunung ing ngisor kamar reaksi, biasane ing ngisor wadhah landasan, digunakake kanggo ngontrol arah aliran gas lan ngoptimalake lapangan termal lan distribusi gas ing ngisor landasan.

SajroneProses epitaksi SiC, Bagean grafit setengah rembulan ing ndhuwur mbantu nuntun aliran gas supaya bisa disebarake kanthi rata ing substrat, nyegah gas langsung kena pengaruh permukaan substrat lan nyebabake overheating lokal utawa kerusuhan aliran udara. Bagean grafit setengah rembulan ngisor ngidini gas mili lancar liwat substrat lan banjur dibuwang, nalika nyegah turbulensi mengaruhi keseragaman pertumbuhan lapisan epitaxial.

Ing syarat-syarat angger lapangan termal, SiC nutupi bagean grafit Halfmoon bantuan kanggo roto-roto disebaraké panas ing kamar reaksi liwat wangun lan posisi. Bagean grafit halfmoon ndhuwur bisa kanthi efektif nggambarake panas sing sumringah saka pemanas kanggo mesthekake suhu ing ndhuwur landasan stabil. Bagean grafit setengah rembulan ing ngisor uga nduweni peran sing padha, mbantu nyebarake panas ing ngisor substrat liwat konduksi panas kanggo nyegah beda suhu sing gedhe banget.

Lapisan SiC ndadekake komponen tahan kanggo suhu dhuwur lan konduktif termal, saéngga bagéan halfmoon VeTek Semiconductor duwe umur layanan sing dawa. Dirancang kanthi ati-ati, bagean grafit setengah rembulan kanggo SiC epitaxy bisa diintegrasi kanthi lancar menyang pirang-pirang reaktor epitaxial, mbantu nambah efisiensi lan linuwih sakabèhé proses manufaktur semikonduktor. Apa wae sing dibutuhake bagean grafit Halfmoon lapisan SiC, hubungi VeTek Semiconductor.

Veteksemtoko SiC coating halfmoon grafit parts: