Aixtron G5 MOCVD Susceptors

VeTek Semiconductor minangka produsen lan inovator Susceptors Aixtron G5 MOCVD terkemuka ing China.We wis spesialisasi ing materi lapisan SiC sajrone pirang-pirang taun.We nawakake Susceptor Aixtron G5 MOCVD sing dirancang khusus kanggo reaktor Aixtron G5 MOCVD. Kit Susceptors Aixtron G5 MOCVD iki minangka solusi serbaguna lan efisien kanggo manufaktur semikonduktor kanthi ukuran optimal, kompatibilitas, lan produktivitas dhuwur. Sugeng rawuh ing pitakonan kita.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Minangka Produsèn profesional, VeTek Semiconductor kaya kanggo nyedhiyani sampeyan Aixtron G5 MOCVD Susceptors kaya SiC dilapisi bagean grafit, TaC dilapisi bagean grafit, ngalangi SiC / CVD SiC, bagean kuarsa. Sugeng rawuh kanggo pitakonan kita.

Aixtron G5 minangka sistem deposisi kanggo semikonduktor senyawa. AIX G5 MOCVD nggunakake platform reaktor planet AIXTRON sing wis kabukten dening pelanggan produksi kanthi sistem transfer wafer cartridge (C2C) kanthi otomatis. Nggayuh ukuran rongga tunggal paling gedhe ing industri (8 x 6 inci) lan kapasitas produksi paling gedhe. Nawakake konfigurasi fleksibel 6 - lan 4-inch sing dirancang kanggo nyilikake biaya produksi nalika njaga kualitas produk sing apik banget. Sistem CVD planet tembok anget ditondoi kanthi tuwuhing pirang-pirang piring ing tungku siji, lan efisiensi output dhuwur. VeTek Semiconductor nawakake set lengkap aksesoris kanggo sistem Aixtron G5 MOCVD, Aixtron G5 MOCVD Susceptors kasusun saka aksesoris iki:

Thrust Piece, Anti-Rotasi	Ring Distribusi	langit-langit	Holder, Langit-langit, Insulated	Cover Plate, Njaba
Cover Plate, Inner	Ring Cover	Disk	Pulldown Cover Disc	Pin
Pin-washer	Planetary Disc	Kolektor Inlet Ring Gap	Kolektor Knalpot Upper	Rana
Ring Dhukungan	Dhukungan Tube

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor

Sifat fisik dhasar saka lapisan CVD SiC:

Sifat fisik dhasar saka lapisan CVD SiC
Properti	Nilai Khas
Struktur Kristal	FCC β fase polikristalin, utamané (111) oriented
Kapadhetan	3,21 g/cm³
Kekerasan	Kekerasan 2500 Vickers (beban 500g)
Ukuran Gandum	2~10μm
Kemurnian Kimia	99.99995%
Kapasitas panas	640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lentur	415 MPa RT 4-titik
Modulus Young	430 Gpa 4pt tikungan, 1300 ℃
Konduktivitas termal	300W·m-1·K-1
Thermal Expansion (CTE)	4.5×10-6K-1