SiC Coated Barrel Susceptor

VeTek Semiconductor nawakake solusi komponen lengkap kanggo ruang reaksi epitaksi silikon LPE, menehi umur dawa, kualitas stabil, lan asil lapisan epitaxial sing luwih apik. Produk kita kayata SiC Coated Barrel Susceptor nampa umpan balik posisi saka pelanggan. Kita uga nyedhiyakake dhukungan teknis kanggo Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy, lan liya-liyane. Bebas bae kanggo takon kanggo informasi rega.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

VeTek Semiconductor minangka produsen, pemasok lan eksportir lapisan SiC lan TaC sing misuwur ing China. Adhering kanggo nguber kualitas sampurna produk, supaya SiC Coated Barrel Susceptor wis wareg dening akeh pelanggan. Desain sing ekstrem, bahan mentah sing berkualitas, kinerja dhuwur lan rega sing kompetitif yaiku sing dikarepake saben pelanggan, lan uga sing bisa ditawakake. Mesthine, uga penting yaiku layanan purna jual sing sampurna. Yen sampeyan kasengsem ing layanan SiC Coated Barrel Susceptor, sampeyan bisa takon kita saiki, kita bakal mbales sampeyan ing wektu!

VeTek Semiconductor SiC Coated Barrel Susceptor utamane digunakake kanggo reaktor LPE Si EPI.

LPE (Liquid Phase Epitaxy) silikon epitaxy minangka teknik pertumbuhan epitaxial semikonduktor sing umum digunakake kanggo nyelehake lapisan tipis silikon kristal tunggal ing substrat silikon. Iku cara wutah fase Cairan adhedhasar reaksi kimia ing solusi kanggo entuk wutah kristal.

Prinsip dhasar epitaksi silikon LPE kalebu nyemplungake substrat menyang solusi sing ngemot materi sing dikarepake, ngontrol suhu lan komposisi solusi, ngidini materi ing solusi kasebut tuwuh minangka lapisan silikon kristal tunggal ing permukaan substrat. Kanthi nyetel kahanan wutah lan komposisi solusi sajrone wutah epitaxial, kualitas kristal sing dikarepake, kekandelan, lan konsentrasi doping bisa digayuh.

LPE silikon epitaxy nawakake sawetara ciri lan kaluwihan. Kaping pisanan, bisa ditindakake ing suhu sing rada sithik, nyuda stres termal lan panyebaran impurity ing materi kasebut. Kapindho, epitaksi silikon LPE nyedhiyakake keseragaman sing dhuwur lan kualitas kristal sing apik banget, cocog kanggo nggawe piranti semikonduktor kanthi kinerja dhuwur. Kajaba iku, teknologi LPE mbisakake tuwuhing struktur kompleks, kayata multilayer lan heterostructure.

Ing epitaksi silikon LPE, SiC Coated Barrel Susceptor minangka komponen epitaxial sing penting. Biasane digunakake kanggo nahan lan ndhukung substrat silikon sing dibutuhake kanggo pertumbuhan epitaxial nalika nyedhiyakake kontrol suhu lan atmosfer. Lapisan SiC nambah daya tahan suhu dhuwur lan stabilitas kimia susceptor, nyukupi syarat proses pertumbuhan epitaxial. Kanthi nggunakake SiC Coated Barrel Susceptor, efisiensi lan konsistensi pertumbuhan epitaxial bisa ditingkatake, njamin pertumbuhan lapisan epitaxial sing bermutu.

Sifat fisik dhasar saka lapisan CVD SiC:

Sifat fisik dhasar saka lapisan CVD SiC
Properti	Nilai Khas
Struktur Kristal	FCC β fase polikristalin, utamané (111) oriented
Kapadhetan	3,21 g/cm³
Kekerasan	Kekerasan 2500 Vickers (beban 500g)
Ukuran Gandum	2~10μm
Kemurnian Kimia	99.99995%
Kapasitas panas	640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lentur	415 MPa RT 4-titik
Modulus Young	430 Gpa 4pt tikungan, 1300 ℃
Konduktivitas termal	300W·m-1·K-1
Thermal Expansion (CTE)	4.5×10-6K-1