SiC Coated Pancake Susceptor kanggo LPE PE3061S 6'' Wafers

VeTek Semiconductor punika SiC Coated Pancake Susceptor anjog kanggo LPE PE3061S 6 '' produsen wafer lan inovator ing China.We wis specialized ing materi lapisan SiC kanggo akèh taun.We nawakake SiC-dilapisi susceptor pancake dirancang khusus kanggo LPE PE3061S 6” wafer . Susceptor epitaxial iki nduweni resistensi korosi sing dhuwur, kinerja konduksi panas sing apik, keseragaman sing apik. We welcome sampeyan ngunjungi pabrik kita ing China.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Minangka produsen profesional, VeTek Semiconductor pengin menehi sampeyan kualitas dhuwur SiC Coated Pancake Susceptor kanggo LPE PE3061S 6 '' wafers.

The VeTeK Semiconductor SiC Coated Pancake Susceptor kanggo LPE PE3061S 6" wafer minangka peralatan kritis sing digunakake ing proses manufaktur semikonduktor.

SiC Coated Pancake Susceptor kanggo wafer LPE PE3061S 6" Fitur Produk:

Stabilitas suhu dhuwur: SiC nuduhake stabilitas suhu dhuwur banget, njaga struktur lan kinerja ing lingkungan suhu dhuwur.

Konduktivitas termal sing luar biasa: SiC nduweni konduktivitas termal sing luar biasa, mbisakake transfer panas kanthi cepet lan seragam kanggo pemanasan sing cepet lan malah.

Ketahanan korosi: SiC nduweni stabilitas kimia sing apik, tahan korosi lan oksidasi ing macem-macem lingkungan pemanasan.

Distribusi pemanasan seragam: Pembawa wafer sing dilapisi SiC nyedhiyakake distribusi pemanasan seragam, njamin suhu rata-rata ing permukaan wafer nalika dadi panas.

Cocog kanggo produksi semikonduktor: Si epitaxy wafer operator digunakake akeh ing proses manufaktur semikonduktor, utamane kanggo pertumbuhan Si epitaxy lan proses pemanasan suhu dhuwur liyane.

Kaluwihan produk:

Efisiensi produksi sing luwih apik: susceptor pancake sing dilapisi SiC mbisakake pemanasan sing cepet lan seragam, nyuda wektu pemanasan lan ningkatake efisiensi produksi.

Kualitas produk sing dijamin: Distribusi pemanasan seragam njamin konsistensi sajrone proses wafer, ndadékaké kualitas produk sing luwih apik.

Umur peralatan sing luwih dawa: Materi SiC nawakake tahan panas lan stabilitas kimia sing apik, nyumbang kanggo umur susceptor pancake sing luwih dawa.

Solusi sing disesuaikan: susceptor sing dilapisi SiC, operator wafer Si epitaxy bisa disesuaikan karo ukuran lan spesifikasi sing beda-beda adhedhasar syarat pelanggan.

SEM data and structure of CVD SIC films

Sifat fisik dhasar saka lapisan CVD SiC:

Sifat fisik dhasar saka lapisan CVD SiC
Properti	Nilai Khas
Struktur Kristal	FCC β fase polikristalin, utamané (111) oriented
Kapadhetan	3,21 g/cm³
Kekerasan	Kekerasan 2500 Vickers (beban 500g)
Ukuran Gandum	2~10μm
Kemurnian Kimia	99.99995%
Kapasitas panas	640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lentur	415 MPa RT 4-titik
Modulus Young	430 Gpa 4pt tikungan, 1300 ℃
Konduktivitas termal	300W·m-1·K-1
Thermal Expansion (CTE)	4.5×10-6K-1

VeTek Semiconductor Production Shop

Ringkesan rantai industri epitaksi chip semikonduktor:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Hot Tags: SiC Coated Pancake Susceptor kanggo LPE PE3061S 6'' Wafer, China, Produsen, Supplier, Pabrik, Disesuaikan, Tuku, Lanjut, Awet, Made in China