panampa EPI

Susceptor EPI VeTek Semiconductor dirancang kanggo aplikasi peralatan epitaxial sing nuntut. Struktur grafit sing dilapisi silikon karbida (SiC) kanthi kemurnian dhuwur menehi tahan panas banget, seragam termal seragam kanggo ketebalan lan resistensi lapisan epitaxial sing konsisten, lan tahan kimia tahan lama. We look nerusake kanggo kerjo bareng karo sampeyan.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

VeTek Semiconductor minangka pimpinan profesional China EPI Receiver, ALD Planetary Receiver, TaC Coated Graphite Receiver.

Susceptor EPI VeTek Semiconductor minangka komponen penting saka pertumbuhan epitaxial Ing proses manufaktur semikonduktor. Fungsi utamane kanggo ndhukung lan panas wafer supaya lapisan epitaxial kualitas dhuwur bisa seragam thukul ing lumahing wafer.

Susceptor EPI VeTek Semiconductors biasane digawe saka grafit kemurnian dhuwur lan dilapisi lapisan silikon karbida (SiC). Desain iki nduweni kaluwihan utama ing ngisor iki:

Stabilitas suhu dhuwur: Susceptor EPI bisa tetep stabil ing lingkungan suhu dhuwur, njamin wutah seragam saka lapisan epitaxial.

tahan korosi: Lapisan SiC nduweni ketahanan korosi sing apik lan bisa nolak erosi gas kimia, ndawakake umur layanan tray.

Konduktivitas termal: Konduktivitas termal dhuwur saka materi SiC njamin distribusi suhu seragam saka wafer nalika dadi panas, saéngga ningkatake kualitas lapisan epitaxial.

Koefisien ekspansi termal cocog: Koefisien ekspansi termal SiC padha karo grafit, ngindhari masalah lapisan shedding amarga ekspansi termal lan kontraksi.

Sifat fisik dhasar sakapanampa EPI: