Cincin Fokus CVD SiC

VeTek Semiconductor minangka produsen domestik lan pemasok dering fokus CVD SiC, darmabakti kanggo nyedhiyakake solusi produk kanthi kinerja dhuwur lan linuwih kanggo industri semikonduktor. Dering fokus CVD SiC VeTek Semiconductor nggunakake teknologi deposisi uap kimia (CVD) canggih, duwe resistensi suhu dhuwur sing apik banget, tahan korosi lan konduktivitas termal, lan akeh digunakake ing proses litografi semikonduktor. Pitakonan sampeyan tansah ditampani.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Minangka dhasar piranti elektronik modern lan teknologi informasi, teknologi semikonduktor wis dadi bagian sing ora bisa dipisahake ing masyarakat saiki. Saka smartphone nganti komputer, peralatan komunikasi, peralatan medis lan sel surya, meh kabeh teknologi modern gumantung ing manufaktur lan aplikasi piranti semikonduktor.

Minangka syarat kanggo integrasi fungsional lan kinerja piranti elektronik terus saya tambah, teknologi proses semikonduktor uga terus berkembang lan nambah. Minangka link inti ing teknologi semikonduktor, proses etsa langsung nemtokake struktur lan karakteristik piranti.

Proses etsa digunakake kanggo mbusak utawa nyetel materi kanthi akurat ing permukaan semikonduktor kanggo mbentuk struktur lan pola sirkuit sing dikarepake. Struktur kasebut nemtokake kinerja lan fungsi piranti semikonduktor. Proses etsa bisa nggayuh presisi tingkat nanometer, sing dadi basis kanggo nggawe sirkuit terpadu (ICs) kanthi kapadhetan dhuwur lan kinerja dhuwur.

Cincin Fokus SiC CVD minangka komponen inti ing etsa garing, utamane digunakake kanggo fokus plasma supaya nduweni Kapadhetan lan energi sing luwih dhuwur ing permukaan wafer. Nduwe fungsi nyebarake gas kanthi merata. VeTek Semiconductor tuwuh lapisan SiC kanthi lapisan liwat proses CVD lan pungkasane entuk Cincin Fokus SiC CVD. Cincin Fokus SiC CVD sing disiapake kanthi sampurna bisa nyukupi syarat proses etsa.

CVD SiC Focus Ring working diagram

Cincin Fokus CVD SiC apik banget ing sifat mekanik, sifat kimia, konduktivitas termal, tahan suhu dhuwur, resistensi etsa ion, lsp.

● Kapadhetan dhuwur nyuda volume etsa

● Longkangan band dhuwur lan jampel banget

● Konduktivitas termal sing dhuwur, koefisien ekspansi sing kurang, lan tahan kejut panas

● kelenturan dhuwur lan resistance impact mechanical apik

● High atose, nyandhang resistance, lan resistance karat

VeTek Semikonduktornduweni kemampuan pangolahan Cincin Fokus CVD SiC sing unggul ing China. Kangge, tim technical diwasa VeTek Semiconductor lan tim sales mbantu kita nyedhiyani pelanggan karo produk ring fokus paling cocok. Milih semikonduktor VeTek tegese kemitraan karo perusahaan sing setya nyurung watesCVD silikon karbida inovasi.

Kanthi penekanan sing kuat babagan kualitas, kinerja, lan kepuasan pelanggan, kita ngirim produk sing ora mung nyukupi nanging ngluwihi panjaluk industri semikonduktor sing ketat. Ayo kita nulungi sampeyan entuk efisiensi, linuwih, lan sukses ing operasi sampeyan kanthi solusi CVD silikon Carbide sing canggih.

DATA SEM FILM CVD SIC

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM

Sifat fisik dhasar saka lapisan CVD SiC

Sifat fisik dhasar saka lapisan CVD SiC
Properti	Nilai Khas
Struktur Kristal	FCC β fase polikristalin, utamané (111) oriented
SiC coating Kapadhetan	3,21 g/cm³
Kekerasan lapisan SiC	Kekerasan 2500 Vickers (beban 500g)
Ukuran Gandum	2~10μm
Kemurnian Kimia	99.99995%
Kapasitas panas	640 J·kg^-1· K^-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lentur	415 MPa RT 4-titik
Modulus Young	430 Gpa 4pt tikungan, 1300 ℃
Konduktivitas termal	300W·m^-1· K^-1
Thermal Expansion (CTE)	4.5×10^-6K^-1