CVD SiC coating grafit susceptor

VeTek Semiconductor CVD SiC coating grafit susceptor minangka salah sawijining komponen penting ing industri semikonduktor kayata pertumbuhan epitaxial lan pangolahan wafer. Digunakake ing MOCVD lan peralatan liyane kanggo ndhukung pangolahan lan penanganan wafer lan bahan presisi dhuwur liyane. VeTek Semiconductor duweni susceptor grafit sing dilapisi SiC sing misuwur ing China lan kemampuan produksi lan produksi Susceptor Graphite Coated TaC, lan ngarepake konsultasi sampeyan.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Susceptor grafit lapisan CVD SiC dirancang khusus kanggo manufaktur presisi dhuwur ing industri semikonduktor. Substrat grafit dilapisi lapisan SiC kanthi kemurnian dhuwur kanthi proses CVD, sing nduweni resistensi suhu sing dhuwur banget, tahan korosi lan tahan oksidasi, lan bisa digunakake kanthi stabil ing suhu dhuwur lan lingkungan vakum. Alas iki digunakake digunakake ing MOCVD, PECVD, PVD lan peralatan liyane kanggo ndhukung Processing lan nangani wafer lan bahan tliti dhuwur liyane.

Keuntungan inti:

● Stabilitas suhu dhuwur: Grafit kemurnian dhuwur dhewe nduweni stabilitas termal sing apik. Sawise dilapisi karo lapisan SiC, bisa tahan lingkungan ekstrem suhu sing luwih dhuwur lan cocok kanggo proses suhu dhuwur ing pangolahan semikonduktor.
● Corrosresistensi ion: Lapisan CVD SiC tahan karat asam lan alkali lan bisa urip dawa ing proses CVD.
● Dhuwur hardness lan resistance oksidasi: Lapisan CVD SiC nduweni kekerasan banget, tahan gores, lan tahan oksidasi ing suhu dhuwur kanggo njaga stabilitas materi.
● Konduktivitas termal sing apik: Kombinasi saka substrat grafit lan susceptor lapisan CVD SiC ndadekake basa duwe konduktivitas termal banget, kang bisa èfèktif nindakake panas lan nambah efficiency produksi.

Spesifikasi Produk:

● Bahan: substrat grafit + lapisan CVD SiC
● Ketebalan lapisan: bisa disesuaikan miturut kabutuhan pelanggan
● Lingkungan sing ditrapake: suhu dhuwur, vakum, lingkungan gas korosif

Layanan sing disesuaikan:

Kita nyedhiyakake layanan khusus kanggo nyukupi kabutuhan peralatan lan proses sing beda-beda saka pelanggan. Miturut aplikasi khusus pelanggan, dhasar grafit kanthi ketebalan lapisan sing beda, perawatan permukaan lan tingkat presisi bisa diwenehake.

VeTekSemi tansah makarya ing industri lapisan CVD Silicon Carbide lan nduweni produksi basis grafit lapisan CVD SiC sing unggul ing industri lan tingkat manufaktur. Yen sampeyan butuh informasi produk utawa layanan khusus, hubungi VeTek Semiconductor, kanthi sepenuh ati bakal menehi dhukungan profesional.