CVD SiC coating Epitaxy susceptor

VeTek Semiconductor's CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor minangka alat sing dirancang kanthi presisi sing dirancang kanggo nangani lan ngolah wafer semikonduktor. SiC Coating Epitaxy Susceptor iki nduweni peran penting kanggo ningkatake pertumbuhan film tipis, epilayers, lan lapisan liyane, lan bisa ngontrol suhu lan sifat materi kanthi tepat. Sugeng rawuh pitakon luwih lanjut.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor minangka jinisMOCVD LED Epi Suseptor, sing nduweni peran utama ing reaktor CVD. Minangka Epi Susceptor, iku ora mung sumber panas, nanging uga menehi platform support stabil kanggo landasan sak proses deposition.Lapisan SiCkanthi efektif bisa nyuda oksidasi lan kontaminasi Graphite Susceptor ing lingkungan suhu dhuwur, saéngga njamin kemurnian dhuwur saka materi sing disimpen.

dhasarSifat fisik lapisan CVD SiC:

Sifat fisik dhasar saka lapisan CVD SiC
Properti	Nilai Khas
Struktur Kristal	FCC β fase polikristalin, utamané (111) oriented
Kapadhetan	3,21 g/cm³
Kekerasan	Kekerasan 2500 Vickers (beban 500g)
Ukuran gandum	2~10μm
Kemurnian Kimia	99.99995%
Kapasitas panas	640 J·kg^-1· K^-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lentur	415 MPa RT 4-titik
Modulus Muda	430 Gpa 4pt tikungan, 1300 ℃
Konduktivitas termal	300W·m^-1· K^-1
Thermal Expansion (CTE)	4.5×10^-6K^-1

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor Keuntungan Produk:

● Precise Deposition: Kanthi CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor, sampeyan bisa entuk deposisi sing dikontrol kanthi tepat saka film lan lapisan tipis kanggo entuk asil sing berkualitas lan bisa diulang.

● Suda Kontaminasi: lapisan SiC nyilikake risiko kontaminasi sakaEpi Suseptoradhedhasar Graphite, njamin kemurnian materi sing disimpen.

● Daya tahan: Lapisan SiC nambah resistance oksidasi lan resistance karat kimia saka Graphite Epitaxy Susceptor, menehi umur layanan luwih lan linuwih.

VeTek Semikonduktorsetya nyedhiyakake produk berkualitas tinggi lan rega sing kompetitif. Apa ikuYen EPI Receiverutawa High purity Graphite EPI Susceptor, kita bisa nyukupi kabutuhan sampeyan. Kita ngarep-arep dadi mitra jangka panjang ing China.

VeTek SemikonduktorToko Produk CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor: