Silicon On Insulator Wafer

VeTek Semiconductor minangka pabrikan profesional Cina saka Silicon On Insulator Wafer, ALD Planetary Base, lan TaC Coated Graphite Base. VeTek Semiconductor's Silicon On Insulator Wafer minangka bahan substrat semikonduktor sing penting, lan karakteristik produk sing apik banget ndadekake peran kunci ing kinerja dhuwur, daya rendah, integrasi dhuwur lan aplikasi RF. We look nerusake kanggo kerjasama luwih karo sampeyan.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Prinsip kerja sakaVeTek Semikonduktor'sSilicon On Insulator Waferutamané gumantung ing struktur unik lan sifat materi. lan wafer SOIkasusun saka telung lapisan: lapisan ndhuwur iku lapisan piranti silikon siji-kristal, tengah punika insulating Buried OXide (BOX) lapisan, lan lapisan ngisor iku substrat silikon ndhukung.

Silicon On Insulator Wafers(SOI) Structure

Struktur Silicon On Insulator Wafers (SOI)

Pembentukan lapisan insulasi: Silicon On Insulator Wafer biasane digawe nggunakake teknologi Smart Cut™ utawa teknologi SIMOX (Separation by Implanted OXygen). Teknologi Smart Cut™ nyuntikake ion hidrogen menyang wafer silikon kanggo mbentuk lapisan gelembung, banjur ngiket wafer sing disuntikake hidrogen menyang silikon sing ndhukung.wafer.

Sawise perawatan panas, wafer sing disuntikake hidrogen dipisahake saka lapisan gelembung kanggo mbentuk struktur SOI.teknologi SIMOXimplan ion oksigen energi dhuwur menyang wafer silikon kanggo mbentuk lapisan silikon oksida ing suhu dhuwur.

Ngurangi kapasitansi parasit: Lapisan BOX sakaWafer silikon karbidaèfèktif isolasi lapisan piranti lan silikon dhasar, Ngartekno reducing kapasitansi parasit. Isolasi iki nyuda konsumsi daya lan nambah kacepetan lan kinerja piranti.

Ngindhari efek latch-up: Piranti n-sumur lan p-sumur ingwafer SOIrampung diisolasi, ngindhari efek latch-up ing struktur CMOS tradisional. Iki ngidiniwafer SOI kanggo diprodhuksi ing kacepetan sing luwih dhuwur.

Fungsi stop etch: Inglapisan piranti silikon kristal tunggallan struktur lapisan BOX wafer SOI nggampangake manufaktur MEMS lan piranti optoelektronik, nyediakake fungsi mandeg etch banget.

Liwat ciri-ciri kasebut,Silicon On Insulator Wafermain peran penting ing Processing semikonduktor lan ningkataké pembangunan terus-terusan saka sirkuit terpadu (IC) lansistem mikroelektromekanik (MEMS)industri. We Sincerely looking nerusake kanggo komunikasi luwih lan kerjasama karo sampeyan.

Parameter spesifikasi wafer SOl 200mm:

Spesifikasi wafer SOl 200 mm
Ora	Katrangan	Nilai
Lapisan silikon piranti
1.1	kekandelan	220 nm +/-10 nm
1.2	Metode produksi	CZ
1.3	Orientasi kristal	<100>
1.4	Tipe konduktivitas	p
1.5	Dopan	Boron
1.6	Resistivitas rata-rata	8,5 - 11,5 0hm*cm
1.7	RMS (2x2 um)	<0.2
1.8	LPD (Ukuran> 0.2um)	<75
1.9	Cacat gedhe luwih saka 0,8 mikron (Area)	<25
1.10	Edge Chip, Gores, Retak, Lesung/Pit, Kabut, Kulit Jeruk (pemeriksaan visual)	0
1.11	Void ikatan: inspeksi visual> diameter 0,5mm	0