> Produk > Lapisan Silicon Carbide > Silicon Carbide Epitaxy Kab

Produk Anyar

China Silicon Carbide Epitaxy Kab Produsen, Supplier, Pabrik

Nyiapake epitaksi silikon karbida kualitas dhuwur gumantung ing teknologi canggih lan peralatan lan aksesoris peralatan. Saiki, metode pertumbuhan epitaksi silikon karbida sing paling akeh digunakake yaiku deposisi uap kimia (CVD). Nduweni kaluwihan saka kontrol sing tepat saka kekandelan film epitaxial lan konsentrasi doping, kurang cacat, tingkat wutah Moderate, kontrol proses otomatis, etc., lan teknologi dipercaya sing wis kasil Applied komersial.

Silicon carbide CVD epitaxy umume nganggo tembok panas utawa peralatan CVD tembok sing anget, sing njamin kelanjutan lapisan epitaxy 4H kristal SiC ing kahanan suhu wutah dhuwur (1500 ~ 1700 ℃), tembok panas utawa CVD tembok anget sawise pembangunan taun, miturut hubungan antarane arah aliran udara mlebu lan lumahing landasan, kamar Reaksi bisa dipérang dadi reaktor struktur horisontal lan reaktor struktur vertikal.

Ana telung pratondho utama kanggo kualitas tungku epitaxial SIC, sing pisanan yaiku kinerja pertumbuhan epitaxial, kalebu keseragaman ketebalan, keseragaman doping, tingkat cacat lan tingkat pertumbuhan; Kapindho yaiku kinerja suhu peralatan kasebut dhewe, kalebu tingkat pemanasan / pendinginan, suhu maksimal, keseragaman suhu; Pungkasan, kinerja biaya peralatan kasebut dhewe, kalebu rega lan kapasitas unit siji.

Telung jinis tungku pertumbuhan epitaxial silikon karbida lan beda aksesoris inti

CVD horisontal tembok panas (model khas PE1O6 perusahaan LPE), CVD planet tembok panas (model khas Aixtron G5WWC/G10) lan CVD tembok kuasi-panas (diwakili dening EPIREVOS6 saka perusahaan Nuflare) minangka solusi teknis peralatan epitaxial mainstream sing wis diwujudake. ing aplikasi komersial ing tataran iki. Telung piranti teknis kasebut uga duwe ciri dhewe lan bisa dipilih miturut panjaluk. Struktur kasebut ditampilake ing ngisor iki:

Komponen inti sing cocog yaiku kaya ing ngisor iki:

(a) Hot wall jinis horisontal inti bagean- Parts Halfmoon kasusun saka

Isolasi hilir

Isolasi utama ndhuwur

Setengah bulan ndhuwur

Isolasi hulu

Bagian transisi 2

Bagean transisi 1

Nozzle udara njaba

Tapered snorkel

Nozzle gas argon njaba

nozzle gas argon

piring support wafer

Pin tengah

Pengawal tengah

Tutup proteksi kiwa hilir

Tutup perlindungan tengen hilir

Tutup perlindungan kiwa hulu

Tutup proteksi sisih tengen hulu

Tembok sisih

Ring grafit

Dirasakake protèktif

Dhukungan felt

Blok kontak

silinder stopkontak gas

(b) Tipe planet warm wall

SiC coating Planetary Disk & TaC coated Planetary Disk

Nuflare (Jepang): Perusahaan iki nawakake tungku vertikal dual-chamber sing nyumbang kanggo nambah asil produksi. Peralatan kasebut nduweni rotasi kacepetan dhuwur nganti 1000 revolusi per menit, sing migunani banget kanggo keseragaman epitaxial. Kajaba iku, arah aliran udara beda karo peralatan liyane, kanthi vertikal mudhun, saéngga nyuda produksi partikel lan nyuda kemungkinan tetesan partikel sing tiba ing wafer. We nyedhiyani inti SiC dilapisi komponen grafit kanggo peralatan iki.

Minangka pemasok komponen peralatan epitaxial SiC, VeTek Semiconductor duwe komitmen kanggo nyedhiyakake komponen lapisan sing berkualitas tinggi kanggo ndhukung implementasine sukses SiC epitaxy.

View as

Nozzle Coating CVD SiC

Nozzle Lapisan CVD SiC Semikonduktor Vetek minangka komponen penting sing digunakake ing proses epitaksi LPE SiC kanggo nyetop bahan karbida silikon sajrone manufaktur semikonduktor. Nozel iki biasane digawe saka bahan silikon karbida sing suhu dhuwur lan stabil kanthi kimia kanggo njamin stabilitas ing lingkungan pangolahan sing atos. Dirancang kanggo deposisi seragam, padha muter peran tombol ing Ngontrol kualitas lan uniformity saka lapisan epitaxial thukul ing semikonduktor applications.Looking nerusake kanggo nyetel kerjasama long term karo sampeyan.

Waca liyane Kirim Pitakonan

CVD SiC Coating Protector

Vetek Semiconductor nyedhiyakake CVD SiC Coating Protector sing digunakake yaiku LPE SiC epitaxy, Istilah "LPE" biasane nuduhake Low Pressure Epitaxy (LPE) ing Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD). Ing manufaktur semikonduktor, LPE minangka teknologi proses penting kanggo ngembangake film tipis kristal tunggal, asring digunakake kanggo tuwuh lapisan epitaxial silikon utawa lapisan epitaxial semikonduktor liyane.Pls ora ragu-ragu hubungi kita kanggo pitakonan liyane.

Waca liyane Kirim Pitakonan

SiC Coated Pedestal

Vetek Semiconductor profesional ing nggawe lapisan CVD SiC, lapisan TaC ing grafit lan bahan silikon karbida. Kita nyedhiyakake produk OEM lan ODM kaya SiC Coated Pedestal, wafer carrier, wafer chuck, wafer carrier tray, planet disk lan liya-liyane. Kanthi 1000 kelas kamar resik lan piranti pemurnian, kita bisa nyedhiyani sampeyan produk karo impurity ngisor 5ppm. Looking nerusake kanggo krungu saka sampeyan rauh.

Waca liyane Kirim Pitakonan

SiC Coating Inlet Ring

Vetek Semiconductor unggul ing kolaborasi rapet karo klien kanggo nggawe desain bespoke kanggo SiC Coating Inlet Ring sing cocog karo kabutuhan tartamtu. Iki SiC Coating Inlet Ring dirancang kanthi tliti kanggo macem-macem aplikasi kayata peralatan CVD SiC lan Silicon carbide epitaxy. Kanggo solusi SiC Coating Inlet Ring sing disesuaikan, aja ragu-ragu hubungi Vetek Semiconductor kanggo pitulungan pribadi.

Waca liyane Kirim Pitakonan

Ring Pra-Kalor

VeTek Semiconductor minangka inovator produsen lapisan SiC ing China. Pre-Heat Ring sing diwenehake dening VeTek Semiconductor dirancang kanggo proses Epitaxy. Lapisan silikon karbida seragam lan bahan grafit dhuwur minangka bahan mentah njamin deposisi konsisten lan ningkatake kualitas lan keseragaman lapisan epitaxial.We are looking nerusake kanggo nyetel kerjasama long term karo sampeyan.

Waca liyane Kirim Pitakonan

Pin Angkat Wafer

VeTek Semiconductor minangka produsen EPI Wafer Lift Pin lan inovator ing China.We wis khusus ing lapisan SiC ing permukaan grafit nganti pirang-pirang taun. We offer EPI Wafer Lift Pin kanggo proses Epi. Kanthi kualitas dhuwur lan rega sing kompetitif, kita welcome sampeyan ngunjungi pabrik kita ing China.

Waca liyane Kirim Pitakonan

<1 2 3 >

Minangka produsen lan pemasok profesional Silicon Carbide Epitaxy Kab ing China, kita duwe pabrik dhewe. Apa sampeyan butuh layanan khusus kanggo nyukupi kabutuhan khusus wilayah sampeyan utawa pengin tuku Silicon Carbide Epitaxy Kab canggih lan tahan lama digawe ing China, sampeyan bisa ngirim pesen.