Apa sampeyan ngerti babagan MOCVD Susceptor?

Ing proses deposisi uap kimia logam-organik (MOCVD), suceptor minangka komponen kunci sing tanggung jawab kanggo ndhukung wafer lan njamin keseragaman lan kontrol sing tepat saka proses deposisi. Pilihan materi lan karakteristik produk langsung mengaruhi stabilitas proses epitaxial lan kualitas produk.

Akseptor MOCVD(Deposisi Uap Kimia Logam-Organik) minangka komponen proses utama ing manufaktur semikonduktor. Utamane digunakake ing proses MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) kanggo ndhukung lan panas wafer kanggo deposisi film tipis. Desain lan pilihan materi saka suceptor iku wigati kanggo uniformity, efficiency lan kualitas produk final.

Jenis Produk lan Pilihan Bahan:

Desain lan pilihan materi MOCVD Susceptor macem-macem, biasane ditemtokake dening syarat proses lan kahanan reaksi.Ing ngisor iki minangka jinis produk umum lan bahan:

SiC Coated Susceptor(Silicon Carbide Coated Susceptor):

Katrangan: Susceptor kanthi lapisan SiC, kanthi grafit utawa bahan suhu dhuwur liyane minangka substrat, lan lapisan CVD SiC (CVD SiC Coating) ing permukaan kanggo nambah resistensi nyandhang lan tahan karat.

Aplikasi: Digunakake ing proses MOCVD ing suhu dhuwur lan lingkungan gas sing korosif, utamane ing epitaksi silikon lan deposisi semikonduktor senyawa.

TaC Coated Susceptor:

Katrangan: Susceptor kanthi lapisan TaC (CVD TaC Coating) minangka bahan utama nduweni kekerasan lan stabilitas kimia sing dhuwur banget lan cocok kanggo digunakake ing lingkungan sing korosif banget.

Aplikasi: Digunakake ing proses MOCVD sing mbutuhake resistensi karat lan kekuatan mekanik sing luwih dhuwur, kayata deposisi gallium nitride (GaN) lan gallium arsenide (GaAs).

Silicon Carbide Coated Graphite Susceptor kanggo MOCVD:

Description: Substrat punika grafit, lan lumahing ditutupi karo lapisan saka CVD SiC nutupi kanggo mesthekake stabilitas lan umur dawa ing suhu dhuwur.

Aplikasi: Cocog kanggo digunakake ing peralatan kayata reaktor Aixtron MOCVD kanggo ngasilake bahan semikonduktor senyawa berkualitas tinggi.

Reseptor EPI (Epitaxy Receptor):

Description: Susceptor dirancang khusus kanggo proses wutah epitaxial, biasane karo SiC Coating utawa TaC Coating kanggo nambah konduktivitas termal lan kekiatan.

Aplikasi: Ing epitaxy silikon lan epitaxy semikonduktor senyawa, digunakake kanggo njamin pemanasan seragam lan deposisi wafer.

Peran utama Susceptor kanggo MOCVD ing pangolahan semikonduktor:

Dhukungan wafer lan pemanasan seragam:

Fungsi: Susceptor digunakake kanggo ndhukung wafer ing reaktor MOCVD lan nyedhiyakake distribusi panas seragam liwat pemanasan induksi utawa cara liyane kanggo njamin deposisi film seragam.

Konduksi panas lan stabilitas:

Fungsi: Konduktivitas termal lan stabilitas termal saka bahan Susceptor penting banget. SiC Coated Susceptor lan TaC Coated Susceptor bisa njaga stabilitas ing proses suhu dhuwur amarga konduktivitas termal sing dhuwur lan tahan suhu dhuwur, ngindhari cacat film sing disebabake dening suhu sing ora rata.

tahan korosi lan umur dawa:

Fungsi: Ing proses MOCVD, Susceptor kapapar macem-macem gas prekursor kimia. SiC Coating lan TaC Coating nyedhiyakake ketahanan korosi sing apik, nyuda interaksi antarane permukaan materi lan gas reaksi, lan ngluwihi umur layanan Susceptor.

Optimization lingkungan reaksi:

Fungsi: Kanthi nggunakake Susceptors kualitas dhuwur, aliran gas lan lapangan suhu ing reaktor MOCVD sing optimized, mesthekake proses deposisi film seragam lan Ngapikake asil lan kinerja piranti. Biasane digunakake ing Susceptors kanggo Reaktor MOCVD lan peralatan MOCVD Aixtron.

Fitur Produk lan Kaluwihan Teknis：

Konduktivitas termal sing dhuwur lan stabilitas termal:

Fitur: SiC lan TaC dilapisi Susceptors duwe konduktivitas termal dhuwur banget, bisa cepet lan roto-roto disebaraké panas, lan njaga stabilitas struktural ing suhu dhuwur kanggo mesthekake dadi panas seragam saka wafer.

Kaluwihan: Cocog kanggo pangolahan MOCVD sing mbutuhake kontrol suhu sing tepat, kayata pertumbuhan epitaxial semikonduktor senyawa kayata gallium nitride (GaN) lan gallium arsenide (GaAs).

resistance karat banget:

Fitur: Coating CVD SiC lan Coating CVD TaC duwe inertness kimia sing dhuwur banget lan bisa nolak karat saka gas sing korosif banget kayata klorida lan fluorida, nglindhungi substrat Susceptor saka karusakan.

Kaluwihan: Ngluwihi urip layanan saka Susceptor, nyuda frekuensi pangopènan, lan nambah efficiency sakabèhé saka proses MOCVD.

kekuatan mechanical dhuwur lan atose:

Fitur: Kekerasan lan kekuatan mekanik sing dhuwur saka lapisan SiC lan TaC mbisakake Susceptor kanggo nahan stres mekanik ing lingkungan suhu lan tekanan dhuwur lan njaga stabilitas lan presisi jangka panjang.

Kaluwihan: Cocog banget kanggo proses manufaktur semikonduktor sing mbutuhake presisi dhuwur, kayata pertumbuhan epitaxial lan deposisi uap kimia.

Aplikasi Pasar lan Prospek Pangembangan

Susceptors MOCVDdigunakake akeh ing Pabrik LED padhang dhuwur, piranti elektronik daya (kayata HEMT basis GaN), sel solar, lan piranti optoelektronik liyane. Kanthi nambah permintaan kanggo piranti semikonduktor sing luwih dhuwur lan konsumsi daya sing luwih murah, teknologi MOCVD terus maju, nyopir inovasi ing bahan lan desain Susceptor. Contone, ngembangake teknologi lapisan SiC kanthi kemurnian sing luwih dhuwur lan kapadhetan cacat sing luwih murah, lan ngoptimalake desain struktural Susceptor kanggo adaptasi karo wafer sing luwih gedhe lan proses epitaxial multi-lapisan sing luwih kompleks.

VeTek semikonduktor Technology Co., LTD minangka panyedhiya utama bahan lapisan majeng kanggo industri semikonduktor. perusahaan kita fokus ing ngembangaken solusi mutakhir kanggo industri.

Penawaran produk utama kami kalebu lapisan silikon karbida (SiC) CVD, lapisan tantalum karbida (TaC), lapisan SiC massal, bubuk SiC, lan bahan SiC kemurnian dhuwur, susceptor grafit sing dilapisi SiC, dering preheat, cincin pengalihan lapisan TaC, bagean halfmoon, lsp ., kemurnian ngisor 5ppm, bisa ketemu syarat customer.

Semikonduktor VeTek fokus ing ngembangaken teknologi mutakhir lan solusi pangembangan produk kanggo industri semikonduktor. Kita ngarep-arep dadi mitra jangka panjang ing China.