Apa TaC Coating?

TaC Coating (Tantalum Carbide Coating) minangka bahan lapisan kinerja dhuwur sing diprodhuksi dening proses deposisi uap kimia (CVD). Amarga sifat lapisan TaC sing apik banget ing kahanan sing ekstrem, mula digunakake ing proses manufaktur semikonduktor, utamane ing peralatan lan komponen sing mbutuhake suhu dhuwur lan lingkungan korosif sing kuwat. Lapisan TaC biasane digunakake kanggo nglindhungi substrat (kayata grafit utawa keramik) saka karusakan dening suhu dhuwur, gas korosif lan nyandhang mechanical.

Fitur Product lan Kaluwihan

Stabilitas termal sing dhuwur banget:

Katrangan fitur: Lapisan TaC nduweni titik leleh luwih saka 3880 ° C lan bisa njaga stabilitas tanpa dekomposisi utawa deformasi ing lingkungan suhu sing dhuwur banget.

Kauntungan: Iki ndadekake bahan sing penting ing peralatan semikonduktor suhu dhuwur kayata CVD TaC Coating lan TaC Coated Susceptor, utamane kanggo aplikasi ing reaktor MOCVD, kayata peralatan Aixtron G5.

resistance karat banget:

Katrangan fitur: TaC nduweni inertness kimia sing kuwat banget lan bisa kanthi efektif nolak erosi gas korosif kayata klorida lan fluorida.

Kaluwihan: Ing pangolahan semikonduktor nglibatno bahan kimia banget korosif, TaC Coating nglindhungi komponen peralatan saka serangan kimia, prolongs urip layanan lan mbenakake stabilitas proses, utamané ing aplikasi saka Silicon Carbide Wafer Boat lan komponen tombol liyane.

Kekerasan mekanik sing apik banget:

Katrangan fitur: Kekerasan lapisan TaC dhuwure 9-10 Mohs, sing ndadekake tahan kanggo nyandhang mekanik lan stres suhu dhuwur.

Kauntungan: Properti kekerasan sing dhuwur ndadekake TaC Coating cocog kanggo digunakake ing lingkungan sing nyandhang dhuwur lan stres sing dhuwur, njamin stabilitas lan linuwih peralatan ing kahanan sing angel.

Reaktivitas kimia kurang:

Katrangan fitur: Amarga inertness kimia sawijining, TaC Coating bisa njaga reaktivitas kurang ing lingkungan suhu dhuwur lan supaya ora perlu reaksi kimia karo gas reaktif.

Advantage: This is especially important in the semiconductor manufacturing process because it ensures the purity of the process environment and high-quality deposition of materials.

Peran TaC Coating ing pangolahan semikonduktor

Nglindhungi komponen peralatan utama:

Katrangan fungsi: Lapisan TaC digunakake ing komponen utama peralatan manufaktur semikonduktor, kayata TaC Coated Susceptor, sing kudu digunakake ing kahanan sing ekstrem. Kanthi nutupi karo TaC, komponen kasebut bisa digunakake kanggo wektu sing suwe ing suhu dhuwur lan lingkungan gas korosif tanpa rusak.

Tambah umur peralatan:

Katrangan fungsi: Ing peralatan MOCVD kayata Aixtron G5, TaC Coating bisa ningkatake daya tahan komponen peralatan kanthi signifikan lan nyuda kabutuhan pangopènan lan panggantos peralatan amarga karat lan nyandhang.

Ningkatake stabilitas proses:

Katrangan fungsi: Ing manufaktur semikonduktor, TaC Coating njamin keseragaman lan konsistensi proses deposisi kanthi nyedhiyakake suhu dhuwur lan lingkungan kimia sing stabil. Iki penting banget ing proses pertumbuhan epitaxial kayata epitaksi silikon lan gallium nitride (GaN).

Ngapikake efisiensi proses:

Katrangan fungsi: Kanthi ngoptimalake lapisan ing permukaan peralatan, TaC Coating bisa nambah efisiensi proses sakabèhé, nyuda tingkat cacat, lan nambah asil produk. Iki penting kanggo nggawe bahan semikonduktor kanthi tliti dhuwur lan kemurnian dhuwur.

Stabilitas termal sing dhuwur, resistensi korosi sing apik, kekerasan mekanik lan reaktivitas kimia sing kurang sing dipamerake dening TaC Coating sajrone proses semikonduktor dadi pilihan sing cocog kanggo nglindhungi komponen peralatan manufaktur semikonduktor. Minangka panjaluk industri semikonduktor kanggo suhu dhuwur, kemurnian dhuwur lan proses manufaktur sing efisien terus saya tambah, TaC Coating nduweni prospek aplikasi sing wiyar, utamane ing peralatan lan proses sing nglibatake CVD TaC Coating, TaC Coated Susceptor lan Aixtron G5.

VeTek semikonduktor Technology Co., LTD minangka panyedhiya utama bahan lapisan majeng kanggo industri semikonduktor. perusahaan kita fokus ing ngembangaken solusi mutakhir kanggo industri.

Penawaran produk utama kami kalebu lapisan silikon karbida (SiC) CVD, lapisan tantalum karbida (TaC), lapisan SiC massal, bubuk SiC, lan bahan SiC kemurnian dhuwur, susceptor grafit sing dilapisi SiC, dering preheat, cincin pengalihan lapisan TaC, bagean halfmoon, lsp ., kemurnian ngisor 5ppm, bisa ketemu syarat customer.

Semikonduktor VeTek fokus ing ngembangaken teknologi mutakhir lan solusi pangembangan produk kanggo industri semikonduktor.Kita ngarep-arep dadi mitra jangka panjang ing China.