Kapal wafer SiC kemurnian dhuwur

VeTek Semiconductor nawakake kapal wafer SiC kemurnian dhuwur sing disesuaikan. Digawe saka karbida silikon kemurnian dhuwur, nduweni slot kanggo nahan wafer ing papan, nyegah supaya ora geser nalika diproses. Lapisan CVD SiC uga kasedhiya yen dibutuhake. Minangka produsen lan supplier semikonduktor profesional lan kuwat, VeTek Semiconductor's High purity SiC wafer boat carrier yaiku rega sing kompetitif lan berkualitas tinggi. VeTek Semiconductor ngarepake dadi mitra jangka panjang sampeyan ing China.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

VeTekSemi High purity SiC wafer boat carrier minangka komponen bantalan penting sing digunakake ing tungku anil, tungku difusi lan peralatan liyane ing proses manufaktur semikonduktor. Pembawa kapal wafer SiC kemurnian dhuwur biasane digawe saka bahan karbida silikon kemurnian dhuwur lan utamane kalebu bagean ing ngisor iki:

• Boat support awak: struktur sing padha karo krenjang, khusus digunakake kanggo nggawawafer silikonutawa bahan semikonduktor liyane.

• Struktur dhukungan: Desain struktur dhukungan mbisakake kanggo nanggung beban abot ing suhu dhuwur lan ora bakal deform utawa rusak sajrone perawatan suhu dhuwur.

silicon carbide material

bahan silikon karbida

Sifat fisik sakaRecrystallized Silicon Carbide：

Properti	Nilai Khas
Suhu kerja (°C)	1600°C (karo oksigen), 1700°C (lingkungan nyuda)
konten SiC	> 99,96%
Konten Si gratis	< 0,1%
Kapadhetan akeh	2,60-2,70 g/cm3
Porositas sing katon	< 16%
Kekuwatan komprèsi	> 600 MPa
Dingin mlengkung kekuatan	80-90 MPa (20°C)
Kekuwatan mlengkung panas	90-100 MPa (1400°C)
Ekspansi termal @1500°C	4.70*10^-6/°C
Konduktivitas termal @1200°C	23 W/m•K
Modulus elastis	Modulus elastis 240 GPa
resistance kejut termal	Apik banget

Yen syarat proses produksi luwih dhuwur,Lapisan CVD SiCbisa dileksanakake ing dhuwur kemurnian SiC wafer prau operator kanggo nggawe kemurnian tekan luwih saka 99,99995%, luwih Ngapikake resistance suhu dhuwur.

Sifat fisik dhasar saka lapisan CVD SiC:

Properti	Nilai Khas
Struktur Kristal	FCC β fase polikristalin, utamané (111) oriented
Kapadhetan	3,21 g/cm³
Kekerasan	Kekerasan 2500 Vickers (beban 500g)
Ukuran Gandum	2~10μm
Kemurnian Kimia	99.99995%
Kapasitas panas	640 J·kg^-1· K^-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lentur	415 MPa RT 4-titik
Modulus Muda	430 Gpa 4pt tikungan, 1300 ℃
Konduktivitas termal	300W·m^-1· K^-1
Thermal Expansion (CTE)	4.5×10^-6K^-1

Sajrone perawatan suhu dhuwur, operator prau wafer SiC kemurnian Dhuwur mbisakake wafer silikon dipanasake kanthi rata supaya ora panas banget lokal. Kajaba iku, resistance suhu dhuwur saka bahan silikon karbida mbisakake kanggo njaga stabilitas struktural ing suhu 1200 ° C utawa malah luwih. working principle of High purity SiC wafer boat carrier

Sajrone proses difusi utawa annealing, paddle cantilever lan operator prau wafer SiC kemurnian dhuwur bisa kerja bareng. Ingkantilever dayungalon-alon nyurung operator prau wafer SiC kemurnian dhuwur sing nggawa wafer silikon menyang kamar tungku lan mandheg ing posisi sing wis ditemtokake kanggo diproses.

Operator prau wafer SiC kemurnian dhuwur njaga kontak karo wafer silikon lan dipasang ing posisi tartamtu sajrone proses perawatan panas, dene paddle cantilever mbantu njaga kabeh struktur ing posisi sing tepat nalika njamin keseragaman suhu.

Operator prau wafer SiC kemurnian dhuwur lan paddle cantilever bisa digunakake kanggo njamin akurasi lan stabilitas proses suhu dhuwur.

VeTek Semikonduktornyedhiyakake operator kapal wafer SiC kemurnian dhuwur sing disesuaikan miturut kabutuhan sampeyan. Looking nerusake kanggo pitakonan Panjenengan.

VeTek SemikonduktorToko pembawa kapal wafer SiC kemurnian dhuwur:

VeTek Semiconductor High purity SiC wafer boat carrier shops