VeTek Semiconductor minangka produsen profesional lan supplier ing China kanggo kapal wafer silikon karbida kanggo tungku horisontal, kanthi pengalaman pirang-pirang taun ing R&D lan produksi, bisa ngontrol kualitas kanthi apik lan menehi rega sing kompetitif. Sampeyan bisa yakin tuku prau wafer silikon karbida kanggo tungku horisontal saka kita.
Kapal wafer Silicon carbide kualitas dhuwur kanggo tungku horisontal ditawakake pabrikan China VeTek Semiconductor. Tuku Silicon carbide wafer boat kanggo pawon horisontal kang saka kualitas dhuwur langsung saka pabrik karo low price.Silicon carbide wafer boat kanggo pawon horisontal digunakake ing tungku tabung kanggo loading lan nransfer wafer sak dhuwur-suhu pangobatan. Amarga sifat bahan silikon karbida sing apik banget kayata tahan suhu dhuwur, tahan korosi kimia, lan stabilitas termal, mula akeh digunakake ing macem-macem proses perawatan panas kayata difusi, oksidasi, CVD, lan anil.
1. Atose dhuwur lan resistance nyandhang: Silicon carbide wis atose liya mung kanggo mirah, nggawe Highly nyandhang-tahan. Iki ngidini prau silikon karbida nahan dampak mekanik lan gesekan bola-bali, ndawakake umur layanan.
2. Resistance suhu dhuwur: Silicon carbide nduweni titik leleh 2730 ° C, nggawe kapal silikon karbida cocok kanggo lingkungan suhu dhuwur lan macem-macem proses manufaktur semikonduktor, kayata oksidasi lan difusi suhu dhuwur.
3. Koefisien ekspansi termal sing kurang: Silicon carbide nduweni koefisien ekspansi termal sing kurang, sing mbantu njaga stabilitas dimensi ing suhu dhuwur, nyegah deformasi prau lan mengaruhi akurasi pangolahan wafer.
4. stabilitas kimia apik: Silicon carbide tahan kanggo paling kimia lan ora nanggepi karo asam umum lan solusi alkalin, njupuk safety lan kebersihan saka wafer.
Kita bisa nggawe macem-macem jinis kapal wafer silikon karbida kayata kapal wafer horisontal, kapal wafer vertikal, lan kapal khusus liyane.
Sifat fisik saka Recrystallized Silicon Carbide | |
Properti | Nilai Khas |
Suhu kerja (°C) | 1600°C (karo oksigen), 1700°C (lingkungan nyuda) |
konten SiC | > 99,96% |
Konten Si gratis | < 0,1% |
Akeh Kapadhetan | 2,60-2,70 g/cm3 |
Porositas sing katon | < 16% |
Kekuwatan komprèsi | > 600 MPa |
Dingin mlengkung kekuatan | 80-90 MPa (20°C) |
Kekuwatan mlengkung panas | 90-100 MPa (1400°C) |
Ekspansi termal @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Konduktivitas termal @1200°C | 23 W/m•K |
Modulus elastis | 240 GPa |
resistance kejut termal | Apik banget |
Silicon carbide wafer boat kanggo tungku horisontal nemokake aplikasi sing akeh ing industri semikonduktor lan fotovoltaik:
Wafer reresik lan etching
Difusi lan oksidasi
Electroplating lan etching
Chemical Mechanical Polishing (CMP)
perawatan panas
Transfer wafer lan panyimpenan