pemanas grafit lapisan keramik silikon karbida

VeTek Semikonduktor Silicon Carbide Keramik Coating Graphite Heaternggabungke konduktivitas listrik lan termal grafit banget karo resistance suhu dhuwur, resistance karat lan nyandhang resistance lapisan Keramik karbon silikon, lan dirancang kanggo lingkungan Manufaktur semikonduktor atos. 

Pemanas grafit lapisan keramik silikon karbidautamané digunakake ing peralatan nutupi vakum (penguapan), lan cara sing umum digunakake yaiku PCD (Plasma Chemical Drying) lan PVD (Deposisi uap fisik). Produk iki nduweni peran penting kanggo ningkatake kemajuan teknologi lan ningkatake efisiensi produksi ing industri semikonduktor.We Sincerely looking nerusake kanggo kerjasama luwih karo sampeyan.

Fitur materi lan struktur saka Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heater minangka nderek:

Substrat grafit: Grafit dikenal kanggo konduktivitas termal dhuwur lan koefisien expansion termal kurang. Bisa nanggapi kanthi cepet kanggo owah-owahan suhu lan njaga stabilitas struktural ing suhu dhuwur.

Lapisan keramik karbon silikon: Lapisan SiC dilapisi merata ing permukaan grafit liwat deposisi uap kimia utawa proses maju liyane. SiC nduweni kekerasan sing dhuwur banget lan tahan korosi kimia, sing bisa nglindhungi substrat grafit saka oksidasi suhu dhuwur lan lingkungan korosif.

Desain struktural produk khusus saka Silicon Carbide Keramik Coating Graphite Heater nemtokakekaluwihan produk sing ora bisa diganti saka prodhuk iki ing proses pangolahan semikonduktor:

Pemanasan sing efisien lan seragam:

Konduktivitas termal: Konduktivitas termal dhuwur saka grafit mbisakake mesin ingkang ndamel benter kanggo cepet tekan lan njaga suhu sing dibutuhake, lan lapisan SiC njamin distribusi seragam saka panas. Iki penting banget kanggo proses semikonduktor sing mbutuhake kontrol suhu sing tepat, kayata pangolahan termal kanthi cepet (RTP) lan deposisi uap kimia (CVD).

Keseragaman suhu: Liwat distribusi panas seragam, Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heater bisa kanthi efektif nyuda stres termal lan gradien suhu, njamin konsistensi lan stabilitas kualitas wafer semikonduktor sajrone proses pemanasan.

Proteksi anti karat:

Resistance kimia: Ketahanan korosi kimia saka lapisan SiC mbisakake mesin pemanas bisa digunakake kanthi stabil lan suwe ing lingkungan gas lan kimia korosif, ngindhari karusakan ing substrat grafit. Fitur iki penting banget ing proses kayata deposisi uap kimia (CVD) lan deposisi uap kimia sing ditingkatake plasma (PECVD).

Resistensi oksidasi: Ing suhu dhuwur, lapisan SiC bisa nyegah oksidasi saka substrat grafit, ngluwihi umur layanan saka mesin ingkang ndamel benter, lan ngurangi frekuensi lan biaya pangopènan peralatan.

Ngurangi kontaminasi partikel:

Stabilitas lumahing: lapisan SiC ora mung nyandhang-tahan, nanging uga nyegah partikel saka Mudhun saka lumahing materi amarga siklus termal utawa reaksi kimia, saéngga ngurangi risiko kontaminasi partikel sing bisa kedaden sak Manufaktur semikonduktor lan njamin lingkungan proses reresik dhuwur.

Ningkatake linuwih lan efisiensi proses:

Desain umur dawa: Amarga kombinasi kekuatan mekanik grafit lan resistensi nyandhang lapisan SiC, Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heater bisa njaga operasi efisiensi dhuwur kanggo wektu sing suwe ing kondisi proses sing atos, kanthi signifikan ningkatake linuwih sakabèhé peralatan.

Panggunaan energi sing efisien: Konduktivitas termal dhuwur saka grafit lan stabilitas suhu dhuwur saka lapisan SiC mbisakake mesin ingkang ndamel benter kanggo ngurangi konsumsi energi nalika nambah akurasi kontrol suhu, mangkono nambah efficiency sakabèhé saka produksi semikonduktor.

Sifat fisik dhasar sakaSilicon Carbide Keramik Coating Graphite Heater:

VeTek SemikonduktorSilicon Carbide Keramik Coating Graphite Heatertoko-toko:

Ringkesan rantai industri epitaksi chip semikonduktor:

/ proses liyane