SiC dilapisi susceptor LED UV jero

Susceptor LED UV sing dilapisi SiC dirancang kanggo proses MOCVD kanggo ndhukung pertumbuhan lapisan epitaxial LED UV sing efisien lan stabil. VeTek Semiconductor minangka produsen utama lan pemasok susceptor LED UV sing dilapisi SiC ing China. Kita duwe pengalaman sing sugih lan wis nggawe hubungan kerjasama jangka panjang karo akeh manufaktur epitaxial LED. Kita minangka produsen produk susceptor domestik paling dhuwur kanggo LED. Sawise pirang-pirang taun verifikasi, umur produk kita padha karo produsen internasional paling dhuwur. Looking nerusake kanggo pitakonan Panjenengan.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Susceptor LED UV sing dilapisi SiC minangka komponen bantalan inti ingMOCVD (metal organic chemical vapor deposition) peralatan. Susceptor langsung mengaruhi uniformity, kontrol kekandelan lan kualitas materi wutah UV LED epitaxial jero, utamané ing wutah saka aluminium nitride (AlN) lapisan epitaxial karo isi aluminium dhuwur, desain lan kinerja susceptor iku wigati.

Susceptor LED UV jero sing dilapisi SiC dioptimalake khusus kanggo epitaksi LED UV jero, lan dirancang kanthi tepat adhedhasar karakteristik lingkungan termal, mekanik lan kimia kanggo nyukupi syarat proses sing ketat.

VeTek Semikonduktornggunakake teknologi pangolahan majeng kanggo mesthekake distribusi panas seragam saka susceptor ing sawetara suhu operasi, ngindhari wutah non-seragam saka lapisan epitaxial disebabake gradien suhu. Proses presisi ngontrol kekasaran permukaan, nyuda kontaminasi partikel, lan nambah efisiensi konduktivitas termal kontak permukaan wafer.

VeTek Semikonduktornggunakake grafit SGL minangka materi, lan lumahing diolahLapisan CVD SiC, kang bisa tahan NH3, HCl lan atmosfer suhu dhuwur kanggo dangu. Susceptor LED UV UV sing dilapisi VeTek Semiconductor cocog karo koefisien ekspansi termal wafer epitaxial AlN / GaN, nyuda wafer warping utawa retak sing disebabake dening stres termal sajrone proses kasebut.

Sing paling penting, susceptor LED UV sing dilapisi SiC VeTek Semiconductor kanthi sampurna cocog karo peralatan MOCVD mainstream (kalebu Veeco K465i, EPIK 700, Aixtron Crius, lsp.). Ndhukung layanan khusus kanggo ukuran wafer (2 ~ 8 inci), desain slot wafer, suhu proses lan syarat liyane.

Skenario aplikasi:

● Persiapan LED UV jero: Ditrapake kanggo proses epitaxial piranti ing pita ing ngisor 260 nm (disinfeksi UV-C, sterilisasi lan lapangan liyane).

● Nitride semikonduktor epitaksi: Digunakake kanggo nyiapake epitaxial bahan semikonduktor kayata gallium nitride (GaN) lan aluminium nitride (AlN).

● Eksperimen epitaxial tingkat riset: Epitaxy UV jero lan eksperimen pangembangan materi anyar ing universitas lan institusi riset.

Kanthi dhukungan saka tim teknis sing kuwat, VeTek Semiconductor bisa ngembangake susceptor kanthi spesifikasi lan fungsi unik miturut kabutuhan pelanggan, ndhukung proses produksi tartamtu, lan nyedhiyakake layanan jangka panjang.

DATA SEM FILM COATING CVD SIC:

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM

Sifat fisik dhasar saka lapisan CVD SiC:

Sifat fisik dhasar saka lapisan CVD SiC
Properti	Nilai Khas
Struktur Kristal	FCC β fase polikristalin, utamané (111) oriented
SiC coating Kapadhetan	3,21 g/cm³
Kekerasan lapisan CVD SiC	Kekerasan 2500 Vickers (beban 500g)
Ukuran gandum	2~10μm
Kemurnian Kimia	99.99995%
Kapasitas panas	640 J·kg^-1· K^-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lentur	415 MPa RT 4-titik
Modulus Young	430 Gpa 4pt tikungan, 1300 ℃
Konduktivitas termal	300W·m^-1· K^-1
Thermal Expansion (CTE)	4.5×10^-6K^-1